真空腔体加工
真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中,是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井,这些构成一个完整的真空腔体。
相关真空机械加工:超高真空系统典型腔体、真空零部件加工、真空转接头、真空连接件。我们的制造工程师具有熟练的加工、焊接高真空和超高真空腔体用材料的能力,如304/304L/316
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真空腔体加工
真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中,是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井,这些构成一个完整的真空腔体。
相关真空机械加工:超高真空系统典型腔体、真空零部件加工、真空转接头、真空连接件。我们的制造工程师具有熟练的加工、焊接高真空和超高真空腔体用材料的能力,如304/304L/316/316L/316LN/410/416,我们有长期加工制造经验,制作材料有保证。真空腔体的制造从原料采购,制造工艺,焊接方法,表面处理,氦泄漏检查,焊后加工出来的成品的尺寸测量,还有表面是否有磨砂粒,是否粗糙,是否美观,是否进行了表面处理,是否符合客户的一系列系统中的运用,都由我们严格把关。真空室材质:304SS、304LSS、316SS、316LSS、 铝真空等级:基本压力、可接受的的泄漏率表面处理:机械抛光、电解抛光、化学清洗特殊要求:真空烘烤、残余气体分析额外配件:盲板法兰、旋转位移器、观察窗需求检验报告:三坐标检测报告、合格证书、材质证明
以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多真空腔体加工的知识,欢迎拨打图片上的热线联系我们。
真空腔体产品特点
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——真空腔体供应商,我们为您带来以下信息。
1.真空环境使用,高低温真空环境使用;采用不锈钢,铝,陶瓷等出气率低的材料制作;
2.标准化设计,可根据客人要求定制不同形状与使用环境腔体;
3.氦气检漏,保压老化,达到客户的要求。
应用范围:军类单位,大专院校,科研院所,航空航天,生物制药,微电子,新能源,新材料等等。
真空腔体的焊接原则
超高真空腔体的弧焊接,原则上必须采用内焊,即焊接面是在真空一侧,以免存在死角而发生虚漏。
真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物,成为影响真空度的放气源。为实现超高真空,要对腔体进行150——250℃的高温烘烤,以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带,加热带的外面再用铝箔包裹,防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。
真空腔体烘烤注意事项
真空腔体烘烤时的真空度变化结果,烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3 Pa时,开始给加热带逐渐通电加热,保持腔体在150℃下进行长时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵,同时也给离子泵通电进行加热烘烤,这时的真空腔体只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高,腔体内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出,真空度会迅速恶化。气体的放出量随着烘烤时间的延长而逐渐减少,因此真空度也逐步好转。停止烘烤时,切断加热带和离子泵的烘烤电源,然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给Ti丝通电加热,但又控制温度在Ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清除吸附在Ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物,以确保钛升华泵的正常工作。充分完成钛升华泵的除气处理之后,启动离子泵和钛升华泵,加大真空排气的力度。随着排气力度的增大和由于腔体温度降低而放出气体的减少,系统的真空度会迅速好转。
新完成的腔体一次烘烤时,一般需要一周时间,重复烘烤后单独的烘烤时间可以适当减少。为了更准确地测量真空度,停止烘烤后也应该对真空计进行除气处理。如果真空泵能力充分而且烘烤时间充足的话,烘烤后真空度可提升几个数量级。
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