真空泵不能启动：主要表现为真空泵加电后不能启动运转。这时应首先检查真空泵的电路部分，如保险管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏。在排除电路部分的故障后，应考虑以下两个因素：
(1)电机烧坏。主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。COBRAIndustry干式螺杆
普旭R5系列RA302D真空泵维修
真空泵不能启动：主要表现为真空泵加电后不能启动运转。这时应首先检查真空泵的电路部分，如保险管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏。在排除电路部分的故障后，应考虑以下两个因素：
(1)电机烧坏。主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。COBRAIndustry干式螺杆真空泵-半导体COBRASemicon干式螺杆真空泵为工艺严苛的半导体、太阳能、平板显示器生产及镀膜行业提供有效的解决方案。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。
旋片式真空泵注意事项：
1.旋片式真空泵如因存放或使用不当，水分或其他挥发性物质进入泵内而影响极限真空时，请打开气镇阀净化之，当泵油受机械杂质或化学杂质污染时请及时更换泵油。
2.旋片式真空泵在运转过程中油箱内的泵油量不得油标中心。
3.抽吸含性气体或含氧过高的气体。不能使用。
4.与旋片真空泵进气管口的连接管道不宜过长，千万注意要检查真空泵外连接管道、接头及容器不能漏气要保持密封，否则会影响极限真空及真空泵使用寿命。
普旭R5系列RA302D真空泵维修
液环真空泵通常将水用作工作介质。偏置叶片在部分填充液体的泵腔中旋转。进气口有逆止阀,当泵浦停止时,此逆止阀可隔离泵浦于系统,避免真空油逆流。叶片的旋转运动所产生的离心力使泵腔内的液体形成液环。气体在各叶片和液环之间的空间传递。由于叶轮偏置，空间增大，生产气体通过吸入槽吸入；随着叶轮继续旋转，空间减小，从而使气体被压缩并通过排出槽排出。真空泵可采用水循环的开环或闭环进行操作。
真空泵真空度不高的原因分析
1.转簧变形或折断及旋片动作不灵。应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好，
2.进气口的过滤网被堵塞。应取下过滤网清洗干净，再装上去，
3.因加工不良或磨损造成配合间隙过大。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。
4.真空泵运转中摩擦发热.温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。
电机、真空泵运异常电机超负荷运转、真空泵在运转中异常杂音、噪声、转动困难或发生“卡死”现象。
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