科学院科技战略咨询研究院与纳米科学中心联合发布《纳米研究前沿分析报告》。报告采用内容分析、文献计量和领域分析相结合的方法，通过对比分析美国、英国、法国、德国、俄罗斯、欧盟、日本、韩国、印度、澳大利亚以及我国的纳米技术研发计划，发现各国对纳米技术的信心普遍增强，投资力度普遍加大，科研人员数量和相关企业数均大幅增加；将纳米技术列入促进经济社会发展和解决重大问题的关键技术领域，在
纳米级位移测量技术应用
科学院科技战略咨询研究院与纳米科学中心联合发布《纳米研究前沿分析报告》。报告采用内容分析、文献计量和领域分析相结合的方法，通过对比分析美国、英国、法国、德国、俄罗斯、欧盟、日本、韩国、印度、澳大利亚以及我国的纳米技术研发计划，发现各国对纳米技术的信心普遍增强，投资力度普遍加大，科研人员数量和相关企业数均大幅增加；将纳米技术列入促进经济社会发展和解决重大问题的关键技术领域，在能源和生物等领域尤其受到重视；纳米技术研究迈向新阶段，由单一的纳米材料制备和功能调控转向纳米技术的应用和商业化；通过公共研发平台、产业园区等方式，促进产学研合作及与其他领域的融合，缩短从前沿研究到产业化的时间；开展EHS（环境、健康、安全）和ELSI（限制、社会课题）研究以及和规范（ISO、IEC）的制定；重视纳米技术的基础教育和高等教育。与传统机器人相比，纳米操作机器人具有超级灵敏、超等特点，可以在极微小尺度下完成传统机器人无法实现的各种观测、表征和操控作业，堪称“无微不至”。报告显示，我国在纳米科技领域已形成一批达到世界水平的优势研究方向和团队。
提高分辨力一直是光刻技术发展的主旋律，由瑞利公式R=K1λ/NA可知，缩短波长是提高分辨力的有效手段。每次更短波长光刻的应用，都促使集成电路性能得到极大提升。
光电所采用三角法测量，Z向位移转化为标记光栅与检测光栅横向位移ΔX，通过两光路的信号比对横向位移量ΔX进行检测，实现检焦。在重大专项的支持下，我国近期在高ji数控机床用光栅位移测量系统的开发上取得了重大的进展。该方法的两光路结构设计相同，两信号相位相差，利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动的影响，实现了纳米级的检焦精度。
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