光波超精密——滚动三坐标气浮导轨
闭式静压导轨的特点是：
能承受正、反向载荷，能承受偏载和颠覆力矩的能力较强；
气膜的刚度较高，因此对于导轨本身结构的刚度要求也较高；
(3)导轨的制作和调整较为复杂；
为降低功率损耗，闭式静压导轨一般采用不等面积气腔结构。
根据安装特点，气浮导轨可分为平面封闭式、圆筒封闭式、重力平衡式和真空预载式。
光波超精密
滚动三坐标气浮导轨
光波超精密——滚动三坐标气浮导轨
闭式静压导轨的特点是：
能承受正、反向载荷，能承受偏载和颠覆力矩的能力较强；
气膜的刚度较高，因此对于导轨本身结构的刚度要求也较高；
(3)导轨的制作和调整较为复杂；
为降低功率损耗，闭式静压导轨一般采用不等面积气腔结构。
根据安装特点，气浮导轨可分为平面封闭式、圆筒封闭式、重力平衡式和真空预载式。
光波超精密空气导轨——滚动三坐标气浮导轨
节流器的选择和设计是气浮导轨设计的关键。风门型式对气动导轨承载性能的影响程度决定了工作台精度和整体承载性能。表中显示，节流器类型以小孔节流、环面节流和狭缝节流形式应用zui多；光波超精密空气导轨——滚动三坐标气浮导轨节流器的选择和设计是气浮导轨设计的关键。多孔质和环面浅腔节流是两种较新的节流形式，具有承载能力高、稳定性好等优点，但对多孔质节流器而言，其节流特性主要受渗透系数的影响，而渗透系数主要由多孔质材料自身的特性决定，因此，其具体数值难以确定。环面式浅腔节流设计时，浅腔结构的深度一般在十几微米到几十微米之间，增加了加工难度，从而限制了此类节流器的应用。剩下的节流形式，在实际中很少使用。
该微结构能有效地应用于超精密机床的动静导轨表面，可有效地降低气浮导轨间隙内高速气体的流动阻力，提高机床定位精度和系统运动速度。以计算流体动力学方法(CFD)为基础(Computational fluid dynamics, CFD)，应用雷诺平均方程和带旋流修正的k-：湍流模型，建立了导轨微结构表面流体动力减阻分析模型，并结合流场分析和阻力分析，寻找符合气浮导轨功能要求的微结构表面。本文研究了导轨表面微沟槽的形状和几何特征参数对减阻效果的影响规律，并通过识别各种因素对减阻效果的影响规律，分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四种微结构表面形态，确定了z适ui合超精密机床气浮导轨减阻要求的微沟槽形状。然后，通过研究导轨气浮表面微结构减阻功能表面的几何特性(构型、尺寸、形状、位置等)对减阻的影响规律，对气浮导轨微结构功能表面的参数进行了优化设计。导向架的安装布局和导向架本身的结构外形直接影响到机床的各项精度指标。
气浮式导轨利用空气的粘性，把外压缩空气通过节流器引入导轨和滑块之间的间隙，形成具有超高刚度的气膜间隙，使负载得以平稳运行i。
气浮式导轨电子制造设备工业中超精密测量和实验室测量，如光刻机、贴片机等纳米和亚微米工业磨擦系数接近零，永i不磨损。
持久的精i确度，出厂精i确度即永i久精i确度
导向器永i不磨损，因此不存在售后问题，无需返修，更不用全套更换。
精i确度丢失，导轨无需人工校正，补偿。
计量准确。由于气膜刚度大、运动平稳、振幅小、振动频率接近，所以可以完全避免和消除测量中振动对测量精度的影响，摩擦力小，低速运动不会产生爬行抖动现象。随动电机性好，适应频繁启停测试要求
气浮导轨表面可以描述为平板表面，在平板上横置微沟槽以建立减阻分析模型。为防止微结构设计对气浮支座造成破坏，应将减阻微结构设计在2毫米的气孔直径范围内，不应小于116-191。从加工成本和导轨宽度两个方面考虑，将微结构布局区长度设置在5 mm，微结构布局区后，仍保持原有的光滑表面。以流速入口为入口边界条件，根据气浮导轨气体出口为大气的实际情况，选择压力出口为出口边界条件。研究结果表明，导轨单侧宽度为9 mm，前后缓冲过渡段均设2 mm长度；因为流经间隙的流量与外加载F成正比，流速就会大大降低，从而使外加载F自动增大。计算域大小2 mm×9 mm，用于整个物理模型。微细结构的布局区域可以设置不同的构型(如图1所示)，微细结构的尺寸、形状、位置和分布密度对微细结构的几何参数进行减阻特性研究。
减阻是一个备受关注的科学问题，许多学者对减阻本身及其应用进行了大量的研究。在这些因素中，微结构功能表面减阻是研究的热点。非平滑表面具有一些特殊功能的微小拓扑结构被称为微结构功能面8]，例如微沟槽/肋板阵列[”1，微凹坑/凸包阵列，微金字塔阵列结构，这些结构的特征尺寸一般为1~100微米，量级亚毫米级，能改善机械产品/部件的某些特性。一般情况下，这些微结构功能表面分布在10~1000毫米大小的跨尺度机械表面上，可通过改变零件的界面效应，改变摩擦[0]、润滑、粘着、和流体力学性能等物理特性，使机械产品和零部件的功能特性显著提高12个百分点，例如：工作噪音、能耗、密封、润滑、使用寿命等。在航天器中，微结构表面已被广泛应用[13，仿生结构4，船舶工程{5]。光波超精密——滚动三坐标气浮导轨直线导轨通过滚珠在滚道中的滚动，实现了导轨滑块的直线运动，滑块与导轨滑槽之间存在间隙。
气浮处理法就是向废水中通人空气，并以微小气泡形式从水中析出成为载体，使废水中的乳化油、微小悬浮颗粒等污染物质粘附在气泡上，随气泡一起上浮到水面，形成泡沫一气、水、颗粒（油）三相混合体，通过收集泡沫或浮渣达到分离杂质、净化废水的目的。浮选法主要用来处理废水中靠自然沉降或上浮难以去除的乳化油或相对密度接近于1的微小悬浮颗粒。光波超精密——滚动三坐标气浮导轨该微结构能有效地应用于超精密机床的动静导轨表面，可有效地降低气浮导轨间隙内高速气体的流动阻力，提高机床定位精度和系统运动速度。
气浮技术受到的影响因素有很多，包括气浮技术差异、气浮周边自然环境因素以及有无催化的影响因素。首先，不同气浮技术的工作效率不同，因为气浮法的根本原理是微小气泡的载粘能力，浮力大于重力的作用效果，所以，微小气泡产生速度高低直接影响含油污水处理速度的快慢。例如，诱导气浮法产生微小气泡的速率，要高于一般的电解气浮法，但是电解气浮法产生的气泡更为精密且反应更加。周边自然环境的影响，包括四周温度与压强状况等环境干扰作用，温度较高，污水分子的内容也较大，分子移动速度快，反应时间
