电子洁净车间
净化车间主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小
洁净车间施工
电子洁净车间
净化车间主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。从确保洁净室内相对湿度的精度而言,上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高,故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是俗称的1K级别。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽,其加湿方法属等温加湿过程。
1、消耗电力大;2、防振动;3、防静电;4、防电磁波干扰;5、需要实行特殊接地;6、要不停电电源7、电压波动、频率变化小;8、需要特殊电压在洁净室的电气设备中,特别重要的问题是为确保产品的质量和成品率的提高,而应把作业空间的洁净度稳定地维持在一定的水平上。为此,必须遵守不产生灰尘、不积存灰尘、不带入灰尘的三原则。①不产生灰尘·电机、通风机的皮带等旋转部分应选用性好,表面不产生剥离的材料;·电梯等垂直运输机械或水平机械的导轨、钢丝绳的表面应不产生剥离。②不积存灰尘·墙面上安装的配电盘、控制盘、开关等应尽量做成暗装式,尽量采用凹凸少的形状;·配线管等以暗装为原则,在必须明装的情况下,无论如何也不要在水平部分明装,只能在垂直部分明装;组装式洁净室在企业搬迁及生产扩展方面发挥极大作用,一方面节约企业成本,避免一般无尘室工程无法扩展及重复利用的问题,另一方面缩短安装工期,现场安装快捷,提高生产效率。·在配件必须明装的情况下,外表楞角要少且光滑,以便清扫;·根据消防法规设置的安全口指示灯、疏散标志灯,需要采取不易积尘的结构;·墙壁、地板等因为人或物的移动、空气的反复摩擦会产生静电而吸附灰尘,所以必须采取防静电地板、防静电装修材料和接地等措施;·照明灯具因为换灯管灯泡要定期地进行维修,所以在构造上要考虑更换灯管灯泡时使灰尘不致落人洁净室内。③不带入灰尘·在施工中使用的电线管、照明灯具、探测器、开关等应在进行充分清洗后再使用。
便是净化厂房的隔断、顶板、墙面的彩钢板板材的选用,一般采用50mm厚的夹芯彩钢板较为适应,不仅美观,而且刚性强。在地坪选材方面,一般电子车间厂房选用静电的环氧树脂或者PVC地坪较多。在送风口的选择上,一般在要求较高的洁净室中,可以选择液槽送风口,在冲孔网板可以选择采用烤漆铝板,这样不容易积尘,不易生锈,而且清洁起来更加方便。无尘室的送风量,应取下面三项大值:保证净化车间空气洁净度等级的送风量。
从确保洁净室内相对湿度的精度而言,上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高,故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。
而采用喷干蒸汽和电热(电极)式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题,并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中,而其中有一部分变成凝结水排放出来。
因此,选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。
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