工作完毕，切断电炉电源，等炉温降到一定温度后，关闭扩散泵加热电源。在抽预真空状态下，等油增压泵降油温，然后关真空阀，关机械真空泵，后关冷却水和总电源。工作结束后，应及时填写设备使用记录及相关文件，整理及打扫工作现场，消灭事故隐患。
真空设备操作应注意，扩散泵加热时，主抽泵及前级阀需打开抽真空。主阀必须在前级阀打开后才能打开。主阀未关上时，炉体放气阀不能打开。
真空设
罗茨真空泵维修
工作完毕，切断电炉电源，等炉温降到一定温度后，关闭扩散泵加热电源。在抽预真空状态下，等油增压泵降油温，然后关真空阀，关机械真空泵，后关冷却水和总电源。工作结束后，应及时填写设备使用记录及相关文件，整理及打扫工作现场，消灭事故隐患。
真空设备操作应注意，扩散泵加热时，主抽泵及前级阀需打开抽真空。主阀必须在前级阀打开后才能打开。主阀未关上时，炉体放气阀不能打开。
真空设备的改造。为防比大量冷空气进行扩散泵和增压泵，可在抽高真空管道系统加装一台维持泵，实现真空阀与放气阀之问互锁，从而确保设备安全运行。由于管路没有加维持泵，在抽高真空时，气动挡板阀由于损坏或误操作而漏气，使冷空气进入，冷空气遇高温油蒸气，使气体迅速膨胀发生。
一、溶剂去油
零件所粘附的油脂分为矿物油、动植物油两大类，矿物油可用去除，动植物油可用碱溶液化学去除，但实际上两类油脂经常同时存在，所以在清洗时往往需要先后采用数种不同的溶剂。
1、碱液去油
当零件浸入碱液时，由于碱液与油脂的化学作用可使动植物油转化为脂肪酸盐类（皂化作用），这些盐类能溶解于水，从而能使零件除去油脂。金属零件从去油溶液中取出后应立即在温水中清洗，然后再用冷水清洗。若金属表面不水湿润（有水滴）即表示油污尚未除尽，应再次进行处理。
2、去油
能够溶解矿物油和动植物油，通常可与碱液去油配合使用，常用有三（C2HCl3）、四（CCl4）、（C3H6O）、、等。水是各种无机物和其他物质的良好溶剂，由于自来水中含有较多的氯离子，所以一般均用加热后的自来水进行清洗，当要求较高时，可采用蒸馏水或去离子水，通常用流动的热水清洗电镀后和用酸、碱腐蚀后的零件。
在真空泵维修保养的过程中要定期检查轴套的磨损情况，磨损大时要及时更换轴套。定期调整填料压盖，确保填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。在真空泵维修保养的过程中还需要检查真空泵管道和接头是否松动，用手转动真空泵，看看真空泵是否灵活。 真空泵维修保养时，发现漏油的现象的话主要是在三个位置，油窗、密封套件和轴承轴封。真空泵漏油的主要原因是密封老化。这个问题可以通过在维修过程中更换相应的配件来解决。真空泵修理后，记得清洗油箱，然后注入真空泵油。
干式真空泵是未来行业发展的趋势，虽然现在用的还不多，除了价格高原因外，还有用户对干式真空泵的了解不到位，看不到带给企业的未来经济效益，干式真空泵维修的小编在这里着重讲下干式真空泵怎么进行优化选择 对于这些不同类型的干式真空泵，我们都渴望能够将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽气速率相矛盾，因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。当然，还有一个影响真空泵的抽气速率的重要因素，那就是转速。为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大尺寸真空泵的抽气速率相匹配，就需要提高它的转速。而想要改变真空泵的转速有两种方法，一是改变电源的频率，即采用变频器;二是改变齿轮箱的传动比。其中，采用变频器的好处是可以提供一个闭环控制，但在大负载下容易引起扭距的损失。而改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法，当然，它只能提供不可控的单一转速。
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