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ESD作用于电脑芯片时,由于放电回路的电阻通常都很小,所以电荷释放的瞬间放电电流会很大。例如将带静电的电缆插到电脑的接口上时,放电回路的电阻几乎为零,形成高达几十安培的放电电流,如此大的尖峰电流一旦从芯片的某个引脚流入,足以将芯片的局部熔化,烧断芯片内的晶体管和金属连线,使芯片产生永远的功能丧失,或者破坏芯片内的钝化层,使芯片性能降低。反过来,电荷分布的改变又会影响到电场分布(前节施感导体上的电荷Q之所以偏聚左端就是考虑到这种影响).。芯片损坏后,我们从外观上丝毫看不出有什么变化,但利用FESEM仪器还是可以看清电路熔断的情形。




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