真空镀膜材料免费咨询 菱威真空镀膜派瑞林

Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备的Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚时就完全没有，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。

Parylene涂层防护

自动化控制和恶劣环境下使用的传感器、换能器，用很薄的Parylene涂层防护可以提高环境适应性和可靠性。使用环境包括淡水、海水、炼油厂、化工厂、血液和体液以及辐射环境等。由于很薄的Parylene薄膜涂层就能对器件提供有效防护，对传感器的灵敏度影响很小。国外已有四千万种以上各种传感器用Parylene防护，可用于微波、射频、声学、压电、辐射、化学、温度等各种传感器。其中有汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物医学用传感器等。经Parylene封装的CMOS器件浸入海水中300天以上仍能正常工作，采用Parylene封装防护甚至还可以开发能够在液氮中使用的微电子器件。

SMD：Parylene是这些组装方式较好的防护材料。Parylene活性分子所拥有的良好穿透力，能在组件内部、底部、周围等表面形成无气孔的防护层。

微电子、半导体：使用较高的Parylene作钝化层和介质层，能提供安全、稳定的防护。

混合电路：Parylene能提高引线及焊点的结合强度，消除表面的水分、金属离子和其它微粒污染，广泛用于军事科技、航空、航天等领域。