真空腔体产品特点
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——真空腔体供应商,我们为您带来以下信息。
1.真空环境使用,高低温真空环境使用;采用不锈钢,铝,陶瓷等出气率低的材料制作;
2.标准化设计,可根据客人要求定制不同形状与使用环境腔体;
3.氦气检漏,保压老化,达到客户的要求。
应用范围:军类单位,大专院校,科研院所,航空航天,生物制药,微电子,新能
非标定制真空腔体价格
真空腔体产品特点
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——真空腔体供应商,我们为您带来以下信息。
1.真空环境使用,高低温真空环境使用;采用不锈钢,铝,陶瓷等出气率低的材料制作;
2.标准化设计,可根据客人要求定制不同形状与使用环境腔体;
3.氦气检漏,保压老化,达到客户的要求。
应用范围:军类单位,大专院校,科研院所,航空航天,生物制药,微电子,新能源,新材料等等。
真空腔体制作注意事项
为了减小腔体内壁的表面积,通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体,更多的是利用电解抛光来进行表面处理。
焊接是真空腔体制作中重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量,通常采用弧焊来完成焊接。弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体,以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。
真空腔体中抽气管道的设计原则
为一个工艺选择真空泵时,工艺室和泵之间的抽气管道可能和泵的选择一样重要。要使腔体抽气速率达到大,需要笔直的抽气管道(长度短)并使用直径尽可能大的管道。
看起来似乎很简单,但是这里有许多因素需要考虑。实际上,如果我们从物理学角度考虑,就可以明确哪些是关键因素。真空腔体
在稳定状态的条件下,如果抽气管道内没有气源(泄漏)或气体减少(冷凝),抽气管道任何截面的质量流量必须相同。简单而言,进入工艺室的气体必须从泵出来。
已知气体摩尔流量为M(公斤/摩尔)、抽气速率为S(立方米/秒)、压力为P(帕)、温度为T(开尔文),则质量流量计算如下:
质量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)
Ro=通用气体常数
对于大多数抽气系统而言,气体温度(T)在抽气管道中不会显著减少,而且可以合理地假定为恒定的。
在此情况下,抽气管道任何截面(P*S)的乘积(称为通量)相同。真空腔体
由于抽气管道的压力差是气体流动的推动力,可见压力(P)必须在工艺室中为高值,在泵入口为低值。
由于我们假定通量恒定,可见抽气速率(S)在工艺室为小值,在泵入口为大值(等于泵速)。
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