镀膜机真空泵机组E2M275+EH1200
销售爱德华E2M275+EH1200真空泵机组，
英国Edward爱德华真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气
而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维
持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体
爱德华真空泵代理商
镀膜机真空泵机组E2M275+EH1200
销售爱德华E2M275+EH1200真空泵机组，
英国Edward爱德华真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气
而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维
持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体
传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
所有居于地位的制程工具 OEM，以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。
EUV 平版印刷泵送解决方案
多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。定期检查电动机电流值，不得超过电动机额定电流泵长期运行后，由于机械磨损，使机组噪声级振动增大时，应停机检查，必要时可更换易损零件及轴承，机组大修期一般为一年。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型投资提供 可靠性。
电子束平版印刷解决方案
电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。
我们的产品解决方案
您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。爱德华70#真空泵油特性：真空泵油具的氧化稳定性，长期在高温条件下与空气、树脂、化学原料等直接接触亦不易变质，减少有害漆膜和油垢的形成，提供较长的换油周期。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。
真空泵是一种较为精密的机械设备，用户在使用过程中，真空泵抽真空难免出现抽气量不足或者真空度不高的现象，引起这些现象的原因是很多的。
真空泵真空度降低该怎么办？
真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不严，有漏气的地方;密封填料磨损;叶轮与端盖的间隙过大;水环温度过高(一般不应超过40℃)。
真空泵真空度降低的排除方法：拧紧法兰螺钉或更换衬套;更换填料;调整间隙(一般应为0.15～0.2mm);增加水量并降低进水温度。
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