60年代,HEPA过滤器问世;70年代,采用微细玻璃纤维过滤纸作为过滤介质的HEPA过滤器,对013微米粒径的粒子过滤效率竟高达99.9998%。对于芯片厂100级,10级或更高等级别的洁净厂房,预过滤器的常见的效率级别为H10,许多新项目索性选用HEPA。八十年代以来,随着新的测试方法的出现、使用评价的提高及对过滤性能要求的提高,发现HEPA过滤器存在着严重的问题,于是又产生
初效过滤器价格
60年代,HEPA过滤器问世;70年代,采用微细玻璃纤维过滤纸作为过滤介质的HEPA过滤器,对013微米粒径的粒子过滤效率竟高达99.9998%。对于芯片厂100级,10级或更高等级别的洁净厂房,预过滤器的常见的效率级别为H10,许多新项目索性选用HEPA。八十年代以来,随着新的测试方法的出现、使用评价的提高及对过滤性能要求的提高,发现HEPA过滤器存在着严重的问题,于是又产生了性能更高的ULPA过滤器。各国仍在努力研究,估计不久就会出现更的空气过滤器。
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