十万级洁净室主要采用的送风方式:1.局部孔板顶棚送风;2.带扩散板有效空气过滤器顶棚送风;3.上侧墙送风等三种送风方式。
十万级洁净室主要采用的回风方式:1.单侧墙下部布置回风口;2.当采用走廊回风时,在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风口。
送风口风速(米/秒):1.孔板孔口3~5;2.侧送风口:(1)贴附射流2~5;(2)非贴附射流同侧墙下部回风1.5
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十万级洁净室主要采用的送风方式:1.局部孔板顶棚送风;2.带扩散板有效空气过滤器顶棚送风;3.上侧墙送风等三种送风方式。
十万级洁净室主要采用的回风方式:1.单侧墙下部布置回风口;2.当采用走廊回风时,在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风口。
送风口风速(米/秒):1.孔板孔口3~5;2.侧送风口:(1)贴附射流2~5;(2)非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5,对侧墙下部回凤1.0~1.5。
回风口风速(米/秒):1.洁净室回风口不大于2;2.走廊内回风口不大于4。

1.送风量与排风量:如果是紊流洁净室,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净室,则要测量其风速。
2.各区之间的气流控制:为证明各区之间气流运动方向正确,也就是从洁净区向洁净度差的区域流动,必须检测:(1)各区间的压差正确;(2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流动。
3.过滤器检漏:对有效过滤器及其外框要进行检验,以保证悬浮污染物不会穿过:(1)损坏了的过滤器;(2)过滤器与其外框间的缝隙;(3)过滤器装置的其他部位而侵入室内。

1.电子工业制造设备安装工程指:电子整机产品、电子基础产品、电子材料及其他电子产品制造设备的安装工程。
2.电子工业环境工程指:电子整机产品、电子基础产品、电子材料及其他电子产品制造所需配备的洁净、防微振、微波暗室、电磁兼容、防静电、纯水系统、废水废气处理系统、大宗气体纯化系统、特种气体系统、化学品配送系统等工程。
3.电子系统工程指:雷达、导航及天线系统工程;计算机网络工程;信息综合业务网络工程;监控系统工程;自动化控制系统;安全技术防范系统;智能化系统

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