氦质谱检漏仪特点
1,的气路设计,提高了对氦的抽速,缩短了清氦本底时间,有效防止氦污染。2,检漏口配备:定制精密过滤装置,可有效避免杂物颗粒或铜粉进入仪器内部。3,多模式功能输入、输出,轻松连接各种自动化设备。4,机械与电路有效分开,避免了温度、电磁场等彼此干扰,使检漏仪运行更加稳定、可靠。5,可检漏率低,灵敏度高,检测量程达到11级。
氦质谱检
正压质谱检漏真空系统生产厂家
氦质谱检漏仪特点
1,的气路设计,提高了对氦的抽速,缩短了清氦本底时间,有效防止氦污染。2,检漏口配备:定制精密过滤装置,可有效避免杂物颗粒或铜粉进入仪器内部。3,多模式功能输入、输出,轻松连接各种自动化设备。4,机械与电路有效分开,避免了温度、电磁场等彼此干扰,使检漏仪运行更加稳定、可靠。5,可检漏率低,灵敏度高,检测量程达到11级。
氦质谱检漏仪的特点
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪,通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。氦质谱检漏仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在10-3mbar以下,空气的流动才体现为分子流,氦质谱检漏仪才能稳定正常工作。
氦质谱检漏仪的结构
收集极是对准出口电极狭缝安装的,其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子流一般只有10-1310-12A,要使小电流放大器diyi极输入信号电压够大,则输入电阻必需很大。diyi级放大用的静电计管必须要高度绝缘,所以把高阻及静电许管放在高真空的质谱室中。
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