双室磁控溅射系统
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设备简介
主要特点是设备体积小,结构简单紧凑易于操作,对实验室供电要求低;该系列设备主要部件采用进口或者国内的配置,从而提高设备的稳定性;另外自主开发的智能操作系统在设备的运行重复性及安全性方面得到更好地保障。 目前该系列有基本型、旗舰型、豪华型、尊享型4种不同配置可供选择,可以根
磁控溅射仪厂家
双室磁控溅射系统
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设备简介
主要特点是设备体积小,结构简单紧凑易于操作,对实验室供电要求低;该系列设备主要部件采用进口或者国内的配置,从而提高设备的稳定性;另外自主开发的智能操作系统在设备的运行重复性及安全性方面得到更好地保障。 目前该系列有基本型、旗舰型、豪华型、尊享型4种不同配置可供选择,可以根据客户的不同需求进行配置,比较灵活;样品台可镀制多种型号光纤产品系统主要由真空室、磁控靶、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。标配4只Φ2英寸永磁靶,4台500W直流溅射电源,主要用来开发纳米级单层及多层的金属导电膜、半导体膜以及绝缘膜等。
磁控溅射“磁控反应”介绍
磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳极,真空腔体表面以及靶源表面,从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。德国莱宝发明的孪生靶源技术,很好的解决了这个问题。其原理是一对靶源互相为阴阳极,从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是一切源(磁控,多弧,离子)所必需,因为能量很大一部分转为热量,若无冷却或冷却不足,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。在光学领域中用途巨大,比如说光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面得到应用。
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【磁控溅射镀膜设备】使用注意事项
以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产磁控溅射产品,欢迎新老客户莅临。
磁控溅射镀膜设备是目种镀膜产品,相比传统的水电镀来讲,磁控溅射镀膜设备无毒性,能够掩盖,弥补多种水电镀的缺陷。
近年来磁控溅射镀膜设备技术得到了广泛的应用,现国内磁控溅射镀膜设备厂家大大小小的也非常多,但是专注于磁控溅射镀膜设备生产,
经验丰富的却造磁控溅射镀膜设备厂家,就一定会有一定的规模,这类磁控溅射镀膜设备不像是小件的东西,
磁控溅射镀膜设备其技术含量非常的高,选购磁控溅射镀膜设备时一定要先了解。
磁控溅射镀膜设备技术含量高,那么就一定要拥有一个非常强大的磁控溅射镀膜设备技术工程队伍,
磁控溅射镀膜设备行业资深的,磁控溅射镀膜设备可根据用户的产品工艺及物殊要求设计配置。
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