真空镀膜室壁上单分子层所吸附的分子数Ns与气相中分子数N的比值近似值。通常在常用的高真空系统中,其内表面上所吸附的单层分子数,远远超过气相中的分子数。因此,除了蒸发源在蒸镀过程中所释放的气体外,在密封和抽气系统性能均良好和清洁的真空系统中,若气压处于10-4Pa时,从真空室壁表面上解吸出来的气体分子就是真空系统内的主要气体来源。真空下室壁单分子层所吸附的分子数与气相分子数之比分子数
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真空镀膜室壁上单分子层所吸附的分子数Ns与气相中分子数N的比值近似值。通常在常用的高真空系统中,其内表面上所吸附的单层分子数,远远超过气相中的分子数。因此,除了蒸发源在蒸镀过程中所释放的气体外,在密封和抽气系统性能均良好和清洁的真空系统中,若气压处于10-4Pa时,从真空室壁表面上解吸出来的气体分子就是真空系统内的主要气体来源。真空下室壁单分子层所吸附的分子数与气相分子数之比分子数与气相分子数A-镀膜室的内表面积,cm2;V-镀膜室的容积,cm3;ns-单分子层内吸附分子数,个/cm2;n-气相分子数,个/cm3 次数用完API KEY 超过次数限制
在ji小空间的电流密度极高,弧斑尺寸ji小,估计约为1μm~100μm,电流密度高达l05A/cm2~107A/cm2。每个弧斑存在极短时间,爆发性地蒸发离化阴极改正点处的镀料,蒸发离化后的金属离子,在阴极表面也会产生新的弧斑,许多弧斑不断产生和消失,所以又称多弧蒸发。zui早设计的等离子体jia速器型多弧蒸发离化源,是在阴极背后配置磁场,使蒸发后的离子获得霍尔(hall)jia速xiao应,有利于离子增大能量轰击量体,采用这种电弧蒸发离化源镀膜,离化率较高,所以又称为电弧等离子体镀膜。 次数用完API KEY 超过次数限制
离子镀在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离,并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下,将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的方法。其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀(空心阴极蒸镀法)、多弧离子镀(阴极电弧离子镀)等。真空镀的基本流程如下方框图:真空镀由于是气象沉积,一般能喷涂的塑胶材料都能实现真空镀,如ABS,P,PMMA,PET,PS等。真空镀表面颜色不受限制,通过镀不同的金属体现不同的颜色,还以做五颜六色的彩镀,举例如下银色,可镀铬,铝,镍等来实现金色,可镀金,钛的氮化物与金合金,黑色与枪色,镀钛与碳的化合物局部电镀方便,真空镀可以利用夹具来遮挡不需要电镀的区域。 次数用完API KEY 超过次数限制
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