苏州智殷自动化有限公司从事工业机器人产品开发和系统集成的高新技术企业,隶属智昌机器人产业集团。公司以首批入选者、首批特聘、国际机器人研究博士和迟永琳为人物,超过60名博士和硕士组成高科技人才团队做技术研发和系统应用支持。
智殷以机器人应用集成系统研发,机器人运动控制系统研发,智能工厂 /数字化工厂应用为主。
当下工业机器人应把
智殷智能机器人运动控制器
苏州智殷自动化有限公司从事工业机器人产品开发和系统集成的高新技术企业,隶属智昌机器人产业集团。公司以首批入选者、首批特聘、国际机器人研究博士和迟永琳为人物,超过60名博士和硕士组成高科技人才团队做技术研发和系统应用支持。
智殷以机器人应用集成系统研发,机器人运动控制系统研发,智能工厂 /数字化工厂应用为主。
当下工业机器人应把握好以下几项关键技术
机器人控制技术
机器人控制系统是机器人的大脑,是决定机器人功能和性能的主要因素。工业机器人控制技术的主要任务就是控制工业机器人在工作空间中的运动位置、姿态和轨迹、操作顺序及动作的时间等。具有编程简单、软件菜单操作、友好的人机交互界面、在线操作提示和使用方便等特点。根据半导体设备对MCBF的高要求,对各个部件的可靠性进行测试、评价和控制,提高机械手各个部件的可靠性,从而保证机械手满足IC制造的高要求。
关键技术包括:
(1)真空机器人新构型设计技术:通过结构分析和优化设计,避开,设计新构型满足真空机器人对刚度和伸缩比的要求;
(2)大间隙真空直驱电机技术:涉及大间隙真空直接驱动电机和高洁净直驱电机开展电机理论分析、结构设计、制作工艺、电机材料表面处理、低速大转矩控制、小型多轴驱动器等方面。
(3)真空环境下的多轴精密轴系的设计。采用轴在轴中的设计方法,减小轴之间的不同心以及惯量不对称的问题。
(4)动态轨迹修正技术:通过传感器信息和机器人运动信息的融合,检测出晶圆与手指之间基准位置之间的偏移,通过动态修正运动轨迹,保证机器人准确地将晶圆从真空腔室中的一个工位传送到另一个工位。
(5)符合SEMI标准的真空机器人语言:根据真空机器人搬运要求、机器人作业特点及SEMI标准,完成真空机器人语言。
(6)可靠性系统工程技术:在IC制造中,设备故障会带来巨大的损失。根据半导体设备对MCBF的高要求,对各个部件的可靠性进行测试、评价和控制,提高机械手各个部件的可靠性,从而保证机械手满足IC制造的高要求。
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