洁净室设计要点:1.洁净室无尘室系统:室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数。2.洁净度与换气次数:房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。3.结构:为了保证气流几乎不受干扰,就必须进行结构设计,必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。洁净室风速和
万级洁净室
洁净室设计要点:
1.洁净室无尘室系统:室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例,二则取决于房间的工作参数。
2.洁净度与换气次数:房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。
3.结构:为了保证气流几乎不受干扰,就必须进行结构设计,必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。
洁净室风速和风量测试
风速测试仪器可使用热球式风速计、超声风速计、叶片式风速计等;风量测试可使用带流量计的风罩、文丘里流量计、孔板流量计等。
仪器:热球风速仪,精度0.01m/s±3%,量程0~30m/s,集风罩。
方法:用集风罩住送风口,测出风口平均风速 。
单向流设施的截面风速、面风速和风量测试。
若在空气过滤器或散流器风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时,可利用该流量计直接测量风量。
洁净室是指
对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。

什么是洁净室?
洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。 根据气流的流动状态分类,主要有非单向流洁净室、 单向流洁净室、矢量洁净室。按受控粒子的性质划分,有工业洁净室和生物洁净室。
洁净室的分级
ISO14644根据悬浮粒子浓度这个指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~0um范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~0um)超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>0um)。

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