PR1-2000A1NR9 3000P光刻胶价格
4,曝光
前烘好的存底放在光刻胶衬底放在光刻机上,经与光刻版对准后,进行曝光,接受光照的光刻胶发生化学变化,形成潜影,
光源与光刻胶相匹配,也就是光源波长在光刻胶的敏感波段;
对准:指光刻板上与衬底的对版标记应准确对准,这样一套光刻版各版之间的图形才能彼此套准。
NR9 3000P光刻胶价格
PR1-2000A1NR9 3000P光刻胶价格
4,曝光
前烘好的存底放在光刻胶衬底放在光刻机上,经与光刻版对准后,进行曝光,接受光照的光刻胶发生化学变化,形成潜影,
光源与光刻胶相匹配,也就是光源波长在光刻胶的敏感波段;
对准:指光刻板上与衬底的对版标记应准确对准,这样一套光刻版各版之间的图形才能彼此套准。
曝光时间,由光源强度,光刻胶种类,厚度等决定,
另外,为降低驻波效应影响,可在曝光后需进行烘焙,称为光后烘焙(PEB)
PR1-1500A1NR9 3000P光刻胶价格
6,坚膜
坚膜也叫后烘,是为了去除由于显影液的浸泡引起胶膜软化、溶胀现象,能使胶膜附着能力增强,康腐蚀能力提高。
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