我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等分子泵,真空泵,真空计维修保养/销售等业务。0*10－7mbar*持
Edwards真空分子泵作用
我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等分子泵,真空泵,真空计维修保养/销售等业务。0*10－7mbar*持续模拟生产现场测试24小时＊0-20KHz震动频谱加速度分析。
功能和优势
-的转子技术
-无油
-低振动
-高度可靠
-免维护
-的控制器设计
-自动调整
-自行诊断功能
-直流电机驱动
-无电池运行
-紧凑型设计
-占地面积小
-半机架控制器
应用
-金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物）
-电子回旋共振
-(ECR) 刻蚀
-光致抗蚀剂脱模
-晶体/晶膜生长
-晶片检查
-负载锁真空腔
-科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
-高能物理：射束线
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