无尘车间的原则:无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。高1效率的设计和高1效率设备需要很大的前期投入。无尘车间的平面布局：无尘
净化无尘车间
无尘车间的原则:
无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。高1效率的设计和高1效率设备需要很大的前期投入。
无尘车间的平面布局：
无尘车间一般包括无尘区、准无尘区和辅佐区三部分。无尘车间的平面安置能够有以下几种方法：
外廊盘绕式：外廊能够有窗和无窗，兼作观赏和放置一些设备用，有的在外廊内设直勤采暖。外窗有必要是双层密封窗。
内廊式：无尘车间设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的无尘度等级一般都较高，乃至和无尘车间同级。
两头式：无尘区设在一边，另一边设准无尘和辅佐用房。
中心式：为了节省用地、缩短管线，能够无尘区为中心，上下左右被各种辅佐用房和荫蔽管道的空间包围起来，这种方法避开室外气候对无尘区的影响，削减了冷热能耗，利于节能。
无尘区内各无尘车间的门，
考虑到保持室内压力情况的需求，其开设方向要朝向压力大的房间，由于要靠压力把门压紧，这明显和安全分散的要求相反。为了考虑平常无尘和紧迫分散时的两方面要求，规则无尘区和非无尘区之间的门、无尘区与室外的门作为安全分散门对待，其敞开方向一概朝向分散方向，当然，单设的安全门也是如此。安徽梦净源
无尘车间人员净化和物料净化设施
一、无尘车间内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其他用室。
二、人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣 室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室，可根据需要设置。
三、无尘车间的设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形 状等待征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中被污染。
（作者： 来源：）
