螺杆真空泵是一种干式运行，无接触，螺杆型真空泵它的优点：
(1)与液环泵相比，极限压力更低，因而可节约能耗。
(2)可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。
它的工作原理，是利用两个相平行的等螺距螺杆，在泵腔中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用。两螺杆经过精细动平衡处理，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间有一定间隙(加工精度
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螺杆真空泵是一种干式运行，无接触，螺杆型真空泵它的优点：
(1)与液环泵相比，极限压力更低，因而可节约能耗。
(2)可与罗茨泵、分子泵组成无油机组。
它的工作原理，是利用两个相平行的等螺距螺杆，在泵腔中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用。两螺杆经过精细动平衡处理，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间有一定间隙(加工精度比较高)，因此泵工作时运行平稳，相互之间无摩檫，工作腔无需工作介质。因此，螺杆真空泵不适合在现场保养和维修，如需维修请联系真空泵维修人员。
泵运转作业中，应注意检查并做到：
(1).注意调节供水阀和循环水阀，使循环水量保持适度。
(2).应避免长时间在高负荷下运行。
(3).检查电流表、电压表的读数是否正常。
(4).轴承的温升不应高于35℃，其温度不应高于65℃。
(5).各连接部位应严密，无泄漏现象。
(6).运转中应无异常声响和振动。
(7).注意用汽蚀调节阀门调节泵的汽蚀声。
在粉尘较多的真空工艺如何选择真空泵，才能让真空泵既能够满足工艺要求，同时又能够长期稳定的运行，延长真空泵维修维保时间，节约运行成本，保证生产设备的生产效率，保证设备产能。
在CVD、PECVD、ALD等工艺中，真空腔体会通入各种各样的工艺气体来完成产品表面薄膜工艺，这些工艺气体在反应过程中有时会大量粉尘或容易结晶，如果粉尘和结晶物不能及时排除真空泵外，就容易在真空泵内沉积，堆积到一定量时就会造成真空泵叶轮、转子等卡滞，需要及时下机保养和维护，否则的话就会造成真空泵的更大的损坏，但是干式泵的维护成本又比较昂贵，选择一台耐粉尘，维保周期长的真空泵是非常重要的。
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