三维形貌测量系统
可用于物体表面三维形貌和变形测量。由于该系统既可配备10倍变焦远距离显微成像镜头,也可配备普通变焦镜头,使得该系统能同时满足细观及宏观的测量要求。不仅可用于微电子、生物、微机械等微细结构的形貌及变形测量,也可用于混凝土结构、岩土试样等大型构件表面形貌和变形测量。系统配有的相移条纹图像处理软件,使得系统测量精度明显提高,并且使用方便、操作简单。
3D形貌测量仪厂家
三维形貌测量系统
可用于物体表面三维形貌和变形测量。由于该系统既可配备10倍变焦远距离显微成像镜头,也可配备普通变焦镜头,使得该系统能同时满足细观及宏观的测量要求。不仅可用于微电子、生物、微机械等微细结构的形貌及变形测量,也可用于混凝土结构、岩土试样等大型构件表面形貌和变形测量。系统配有的相移条纹图像处理软件,使得系统测量精度明显提高,并且使用方便、操作简单。
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三维表面形貌测量仪的应用: 1、精密部件3D尺寸及段差测试; 2、精密点胶胶线截面、胶线宽度、胶线高度测试; 3、3D玻璃缺陷检测; 4、半导体表面缺陷测试; 5、多层薄膜厚度测试。
三维表面形貌仪是一款光学表面形貌仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析,以标准方案或定制性方案对二维形貌或三维形貌表面形貌和表面纹理,微米和纳米形状,圆盘,圆度,球度,台阶高度,距离,面积,角度和体积进行多范围测量。基于傅立叶变换的空间过滤工具使得高通、低通、通频带和带阻能滤波器变的容易。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值。交互缩放。X-Y和线段剖面。三维线路、混合和固定绘图。采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌。

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