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惠州VARIAN分子泵维修厂家常用指南「多图」

广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修厂家; 1分子泵振动,可直接接于被抽系统。   对于高精密仪器的应用(如电子显微镜),建议使用隔振器,以便可能的减少振动。   2冲击防护:高速旋转、间隙很小、柔性支撑   机械振动(预抽泵、前级泵、机械动作等)   气体振动(气量突变、压强突变)   意外振动(掉入异物、
VARIAN分子泵维修厂家









广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN分子泵维修厂家;




1分子泵振动,可直接接于被抽系统。

  对于高精密仪器的应用(如电子显微镜),建议使用隔振器,以便可能的减少振动。

  2冲击防护:高速旋转、间隙很小、柔性支撑

  机械振动(预抽泵、前级泵、机械动作等)

  气体振动(气量突变、压强突变)

  意外振动(掉入异物、碰撞等)

  注意:没有对泵进行必要防护,容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。





润滑脂充填量随外壳的结构和容积而有所不同,一般充填至容积的1/3-1/2为宜。充填量过多时,润滑脂因搅拌发热发生变质,老化和软化。2)涡轮分子泵通过与高速旋转的动叶片和固定的固定叶片配合实现抽气。水泵机组和管路在使用一段时期后,应做好水泵保养工作放尽水泵和管路内的剩水。如拆卸方便,可将水泵和管路拆下来,并清理干净。












检查滚珠轴承,如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。尚可使用的用或煤油将轴承清洗干净后涂黄油保存。

检查叶轮上是否有裂痕或小孔,叶轮固定螺母是否松动,如有损坏应修理或更换。检查叶轮减磨环处间隙,如超过规定值,应修理或更换。若水泵和管道都不拆卸时,应用盖板将出口封好,以防杂物进入。








磁场屏蔽出现的问题

  旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:

  ①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;

  ②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;

  ③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;

  ④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。

  分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。












分子泵启动的条件:

  ①、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

  ②、启动时间:

  同时启动——小系统,防前级泵油上返。

  延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa时,启动分子泵。








传动胶带不用时,应把胶带拆下,用温水清洗擦干后保存在没有阳光直接照射的地方,也不要存放在有油污、腐蚀物及烟雾的地方。无论在何种情况下,都不要使胶带沾上机油、柴油或等油类物质,不要对胶带涂松香和其他粘性的物质。对于高精密仪器的应用(如电子显微镜),建议使用隔振器,以便可能的减少振动。胶带在使用前,须清除胶带接触面的。

把所有螺钉、螺栓用钢丝刷刷洗干净,并涂上机油或浸在柴油中保存。








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