螺杆式真空泵也是基于静态压缩系统,作为设计原理,与罗茨泵的压力产生是通过“内部”体积的减少相反。
螺杆式真空泵是由两根螺杆组成,一根右旋螺纹另外一根左旋螺纹。两根结合的非常密致螺杆,无摩擦的向压缩腔转动,经由一根精密齿轮同步。压缩腔和特别形状的螺杆形成了压缩室。由于两根螺杆反方向运转,与吸气点连接的腔室被放大,气体被输送至压缩腔。腔室沿吸气侧到压力侧轴向移动。
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螺杆式真空泵也是基于静态压缩系统,作为设计原理,与罗茨泵的压力产生是通过“内部”体积的减少相反。
螺杆式真空泵是由两根螺杆组成,一根右旋螺纹另外一根左旋螺纹。两根结合的非常密致螺杆,无摩擦的向压缩腔转动,经由一根精密齿轮同步。压缩腔和特别形状的螺杆形成了压缩室。由于两根螺杆反方向运转,与吸气点连接的腔室被放大,气体被输送至压缩腔。腔室沿吸气侧到压力侧轴向移动。
在输送期间,由于流量的增加使得腔室中大量的气体增加。压力侧的腔室沿着腔壁轴向移动,体积逐渐减少直到螺杆的前表面打开压力通道,预压缩气体通过压力连接点被排出。冷却水被获得用于冷却外面的腔壁。部分规格的泵,附加的冷却气体能被导入泵体。防爆真空泵电话
无油螺杆真空泵是一种具有广阔应用前景和巨大市场潜力的干式真空泵。因为作为一种直排大气的低真空泵,与旋片泵、滑阀泵等传统油封泵相比,螺杆泵具有无油污染、排除水蒸气和固体粉尘颗粒能力强等特点;与水环泵等液封泵相比,螺杆泵具有真空度高、能耗低、抽除可溶性蒸汽时无废液产生的特点;与爪式泵、多级罗茨泵、涡旋泵等其它干式真空泵相比,螺杆泵具有抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长等特点。
目前,螺杆泵已被成功地应用于半导体、食品、化工等众多工业领域,所占真空泵市场份额逐年上升。防爆真空泵电话
真空泵在进行使用的过程中,其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。防爆真空泵电话
真空泵在工作的过程中,泵的抽气流道中,在使用时无须使用任何油类和密封液体作为介质,在使用时依靠动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔将被抽气体排出,连续完成吸气、水环真空泵压缩和排气过程。因此,如何防止泄漏解决密封的问题尤为重要。涡旋泵的密封主要包括轴向啮合间隙的径向密封。
真空泵的齿侧密封齿顶密封采用顶部密封件来解决。动盘与静盘的齿顶面上开设渐开线螺旋槽。在螺旋槽内嵌入特种材料的密封条,密封条相对涡旋盘做圆周向滑动,由于是无油运转,要求密封件、耐高温、具有一定的蠕变性能,其材质、尺寸、位置对泵的成功长期运转是至关重要的。防爆真空泵电话
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