近年来, 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动, 多级罗茨干泵作为核心装备之一, 其研制和生产越来越受到重视。清洗技术的前提条件是泵的维护,包括清洗和水箱清洗气缸,真空清洗除了用开水有的甚至外面的油脂清洗,尤其是对核心部件的清洗是特别重要的,清洗时的性能稳定的真空泵。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作
旋片式真空泵订做
近年来, 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动, 多级罗茨干泵作为核心装备之一, 其研制和生产越来越受到重视。清洗技术的前提条件是泵的维护,包括清洗和水箱清洗气缸,真空清洗除了用开水有的甚至外面的油脂清洗,尤其是对核心部件的清洗是特别重要的,清洗时的性能稳定的真空泵。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求, 是很有发展前景的一种干式真空泵。但是, 除了加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入昂贵等制约因素外, 其设计理论和制造工艺亟待提高, 尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析、转子表面涂层、噪声振动等难点问题, 制约了多级罗茨干泵研制和生产。
莱宝罗茨泵常见问题有哪些?应该怎样避免?
1、抽空
在实际应用中,需要实现数秒的抽汽,周期,因此操作人员必须保证罗茨泵与前级泵的比例为1:2,保证这一比例是必要的,因为前级泵在100hp的压力下抽出大部分的时间,而罗茨泵只能在10hpa的压力下有效地工作。因此,证明了前级泵的尺寸必须相应增大。真空泵使用油,一般3~6个月更换一次,以免增加真空泵维修保养起来的难度。
2、不当的温度波动
当罗茨泵堵头仍然很热时,环境温度突然急剧下降会导致泵壳收缩并导致泵停止旋转。如图1所示,在极端压力下工作时,这一点尤为重要。因此,有必要不惜一切代价避免环境温度的突然变化。欧瑞康莱宝罗茨泵的主要特点:欧瑞康莱宝所有规格的罗茨泵均采用风冷,无需循环冷却水系统。此外,操作人员一定要注意不要突然打开附近的百叶窗、其他门等,尤其是在冬季。
另外,对于那些自承式水泵,要把它放在屋檐或雨棚里,以免被雨淋。如果发生火灾时水直接射向泵,泵壳可能会,尤其是灰铸铁外壳。球墨铸铁版泵,由于其材料强度较高,更适合承受这种热波动。
3、温度控制
如果菜宝罗茨泵在大压差下运行,则需要在排气端安装温度传感器,以防止过热和由此造成的任何损坏。这将在限定温度下产生警报,并在达到高允许温度时关闭泵。
旋片式真空泵订做保养时需要注意的点
1. 保养
(1) 应当常特别注意油位及油的洁净水平,新泵工作150钟头换一次油,之后每2-3月换油一次。要是使用标准不好,真空下降时,可减少换油时长。
(2) 应维持莱宝真空泵及泵房的干燥清洁。
(3) 常常特别注意冷却水和油的温度,z高不可以超出85℃,冷却水进水温度不超出30℃,出水温度不超出45℃,且维持水质清洁。
(4) 每星期检查一次油位和油的颜色的情况,如果油位z小标记,要添加油之后再使用,如果油位超过了z大标记,说明有外部物质进入,检查油质,根据情况放掉部分油,或全部更换新莱宝真空泵油,必要时要做更换气镇阀处理。
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