将钛酸锶薄膜进行退火处理,形成非晶薄膜;在所述非晶薄膜表面进行电子束蒸发溅射形成顶电极,得到非晶钛酸锶薄膜器件。钛酸锶熔点高,稳定性好,故钛酸锶晶体管将成为一种广泛应用的电子器件,亦可发展成为钛酸锶集成电路。把一层p型钛酸锶和一层n型钛酸锶外延在一起,这两层导电类型不同的钛酸锶薄膜在界面处就形成一个p-n结,这个p-n结就构成了钛酸锶晶体二极管。
钛酸锶作为功能材料
钛酸锶(SrTiO3)晶体基片
将钛酸锶薄膜进行退火处理,形成非晶薄膜;在所述非晶薄膜表面进行电子束蒸发溅射形成顶电极,得到非晶钛酸锶薄膜器件。钛酸锶熔点高,稳定性好,故钛酸锶晶体管将成为一种广泛应用的电子器件,亦可发展成为钛酸锶集成电路。把一层p型钛酸锶和一层n型钛酸锶外延在一起,这两层导电类型不同的钛酸锶薄膜在界面处就形成一个p-n结,这个p-n结就构成了钛酸锶晶体二极管。
钛酸锶作为功能材料具有高带隙宽度,优异的光催化活性,并具有的电磁性能和氧化还原催化活性的特征。经过1550℃×72h+1000℃×20h+600℃×24h的退火,消除钛酸锶单晶体的热应力和氧空位,得到完整的的单晶体.偏光显微镜测试表明,晶体具有很好的完整性。白色结晶粉末,属立方晶型,密度5.11g/cm3,熔点2020℃。它是铁电材料,但其居里温度为-250℃,故在使用温度下实际上是顺电相。
钛酸锶具有超导性、半导性、气敏性、热敏性及光敏性,介电损耗低、色散频率高,另外还有高介电常数、低电损耗等优点。SrTi03还可用来制作多功能传感器。例如在SrTi03中掺入一定量的BaTi03和MgCr204,通过烧结形成多孔结构的SrTi03-BaTi03 -MgCr2O4陶瓷可制作温度湿度变化的双功能传感器。SrTio3是典型的钙钛矿型多功能陶瓷,具有超导性,半导性,气敏性,热敏性,光敏性,高介电常数及低介电损耗等优点,因此是电子工业中应用较广的一种电子陶瓷材料。

在SrTi03中掺入一定量的BaTi03和MgCr204,通过烧结形成多孔结构的SrTi03-BaTi03 -MgCr2O4陶瓷可制作温度湿度变化的双功能传感器。钛酸锶( SrTiO3)晶体的结晶基元为Ti-O八面体,熔体中Ti-O八面体联结架状结构和网状结构,Sr+2位于基元中间,因此由Ti-O八面体组成的结晶基元在熔体中的扩散速度在很大程度上决定了晶体的生长速率。在基底表面旋涂底电极溶液后退火,形成底电极;在所述底电极表面旋涂钛酸锶溶液后进行烘烤,形成酸锶薄膜。

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