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拉瓦锡对氧气的发现是在普里斯特里启发下完成的。1774年，拉瓦锡用灰（HgO）的合成与分解实验制得氧气，并对它进行了系统的研究，发现它能与很多非金属单质合成多种酸，故命名为“酸气”（希腊文Oxygene）。

生产氧气，虽然需要大型的成套设备和严格的安全操作技术，但是产量高，每小时可以产出数千、万立方米的氧气，而且所耗用的原料仅仅是不用买、不用运、不用仓库储存的空气，所以从1903年研制出一台深冷空分制氧机以来，这种制氧方法一直得到广泛的应用。

氧气继续液化：现在是部分液体和部分气体进入高压分馏塔的底部。当空气沿柱子上升时，它会失去额外的热量。氧气继续液化，在塔底形成富氧混合物，而大部分氮气和气作为蒸汽流到顶部。、氧气冷却：液态氧混合物，称为粗液氧，从下部分馏塔的底部抽出，并在过冷却器中进一步冷却。使该料流的一部分膨胀至接近大气压并送入低压分馏塔。当粗液氧以其向下流动时，大部分剩余的氮和分离，在塔底留下.％的纯氧。