净化工程——洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。净化工程——洁净室防静电洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因
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净化工程——洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。净化工程——洁净室防静电洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
器械净化工程-净化车间设计的规范参照：
1、《ISO/DIS 14644》
2、洁净室厂房设计规范
3、器械包装车间洁净室厂房规范《GMP-97》
4、药品生产质量管理规范《GMP-98》
5、洁净室施工及难收规范《JGJ 71-90》
6、通风与空调工程施工及验收规范
7、美国联邦标准《FS209E-92》
净化洁净工程
送风量、换气次数
器械净化工程-无菌洁净室工程设计阶段对送风量的确定，首先要满足相应洁净度级别的换气次数要求，同时还要通过热、湿负荷校核来进一步确定风量，在此基础上对gao效过滤器进行选用。净化工程洁净室的分类垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可排出室外而不会影响其它工作区域。过滤器的处理风量应小于或等于额定风量，设置在同一洁净区内的gao效 ( 亚gao效、超gao效 ) 空气过滤器的阻力、效率宜接近。
通常洁净室的送风量，应取以下 3 项中的大值 ：为保证空气洁净度等级的送风量 ；根据热、湿负荷计算确定的送风量 ；向洁净室nei供给的新鲜空气量。优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。而新鲜空气量应取下列 2 项中的大值 ：补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 ；保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于 40m3。
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