真空渗氛时，将真空炉排气至较高真空度0.133Pa后，将工件升至，530～560℃，同时送入氨气或NH3+CXHY+N2O复合气体，并对各种气体的送入量进行精准控制，炉压控制在0.667Pa，低压状态能加快工件表面的气体交换,活跃的N元素来自化学反应及NH3，保温3～5h后，用炉内惰性气体进行冷却。不同的材质，经此处理后可得到渗层深为20～80μm、硬度为600～1500HV的
真空热处理加工
真空渗氛时，将真空炉排气至较高真空度0.133Pa后，将工件升至，530～560℃，同时送入氨气或NH3+CXHY+N2O复合气体，并对各种气体的送入量进行精准控制，炉压控制在0.667Pa，低压状态能加快工件表面的气体交换,活跃的N元素来自化学反应及NH3，保温3～5h后，用炉内惰性气体进行冷却。不同的材质，经此处理后可得到渗层深为20～80μm、硬度为600～1500HV的硬化层。
当在淬火期间从炉中的固溶温度取出铸件时，经过的时间是淬火延迟，淬火延迟是15秒> 18秒是比较好的。常见的淬火液是水，其余的是空气或液氮。但是，有必要考虑淬火引起的应力和变形。有时需要热水来防止变形和开裂。当经热处理的铝合金的硬化处理淬火至常温时，由于低温，对溶质的溶解度低，并且产生饱和的不稳定状态。因此，一些微结构将在基底中沉淀，并且沉淀将在室温下发射。自然老化，如果有必要加热到一定温度，沉淀是人工老化。
五、合理的装夹方式及夹具，目的使工件加热冷却均匀，以减少热应力不均，组织应力不均，来减小变形，可改变装夹方式，盘类零件与油面垂直，轴类零件立装，使用补偿垫圈，支承垫圈，叠加垫圈等，花键孔零件可用渗碳心轴等。研究各种材料、不同复杂程度零件的真空加热方式和各种冷却条件下的畸变规律，并用计算机加以模拟，对于推广真空热处理技术具有重要意义。
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