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化学气相沉积设备价格欢迎来电 沈阳鹏程真空技术公司

化学气相沉积的应用 现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料,这些功能材料必须是高纯的,或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是,我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求,也难以保证得到高纯度的产品。激光干涉:激光干涉终点法(IEP)是用激光光源检测透明薄膜厚度的变化,当厚度变化停止时,则意味着到达了刻蚀终点。
化学气相沉积设备价格






化学气相沉积的应用

现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料,这些功能材料必须是高纯的,或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是,我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求,也难以保证得到高纯度的产品。激光干涉:激光干涉终点法(IEP)是用激光光源检测透明薄膜厚度的变化,当厚度变化停止时,则意味着到达了刻蚀终点。因此,无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。

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化学气相沉积的原理

沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售化学气相沉积,我们为您分析该产品的以下信息。

化学气相沉积技术是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种工艺,它大致包含三步:

(1)形成挥发性物质 ;

(2)把上述物质转移至沉积区域 ;

(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质 。基本的化学气相沉积反应包括热分解反应、化学合成反应以及化学传输反应等集中。




化学气相沉积的分类

化学气相沉积的方法很多,如常压化学气相沉积(Atmospheric pressure CVD,APCVD)、低压化学气相沉积(Low pressure CVD,LPCVD)、超高真空化学气相沉积(Ultrahigh vacuum CVD,UHVCVD)、激光化学气相沉积(Laser CVD,LCVD)、金属有机物化学气相沉积(Metal-organic CVD,MOCVD),等离子体增强化学气相沉积(Plasma enhanced CVD,PECVD)等。如需了解更多化学气相沉积的相关信息,欢迎关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站或拨打图片上的热点电话,我司会为您提供、周到的服务。

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