广州帕纳光电科技有限公司----Agilent分子泵销售维修厂家;
采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品,它延续了前代产品所具有的超高压缩比、出色的极限真空、非常好的前级耐压和无油等特点;更结合了突破性技术,拥有的质量和可靠性的同时,它紧凑的设计更包含了众多让人眼亮的全新功能。
现代分子泵的基本结构基本定型为为卧式和立式两种。卧式分子泵具有抽气时转子受力
Agilent分子泵销售维修厂家
广州帕纳光电科技有限公司----Agilent分子泵销售维修厂家;
采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品,它延续了前代产品所具有的超高压缩比、出色的极限真空、非常好的前级耐压和无油等特点;更结合了突破性技术,拥有的质量和可靠性的同时,它紧凑的设计更包含了众多让人眼亮的全新功能。
现代分子泵的基本结构基本定型为为卧式和立式两种。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀,轴承定位受力状态好,使用寿命长,轴承更换过程中转子位置不动,维修方便等特点。立式分子泵的装配工艺要比卧式分子泵简单,所以近些年立式分子泵的发展速度很快。
分子泵,我是公司新推出的第二代分子泵产品,主要针对工业真空领域进行全新的设计和优化升级,是国内首推的系列控制器一体化的工业真空分子泵产品。我可是一种高速旋转的动量传输型真空泵呢,我的工作压强一般是10^-1Pa~10^-8Pa,是实现高真空和超高真空的重要真空获得设备之一。从我一出生,我的主人就告诉我,伦家可不是一般的真空泵。我可是一种高速旋转的动量传输型真空泵呢,我的工作压强一般是10^-1Pa~10^-8Pa,是实现高真空和超高真空的重要真空获得设备之一。
流量不足系统静扬程增加
处理方法:检查液体高度和系统压;
阻力损失增加
处理方法:检查管路及止逆阀等障碍;
壳体和叶轮环磨损过大
处理方法:更换或修理环及叶轮;
其他部位漏液
处理方法:检查轴封等部位;
泵叶轮堵塞、磨损、腐蚀
处理方法:清洗、检查、调换。
泵振动或异常声响振动频率为0~40%工作转速。过大的轴承间隙,轴瓦松动,油内有杂质,油质(粘度、温度)不良,因空气或工艺液体使油起泡,润滑不良,轴承损坏处理方法:检查后,采取相应措施,如调整轴承间隙,清除油中杂质,更换新油;
我们真空泵家族经过长时间的发展,种类和应用领域都很多,每种真空泵都具有不同的特点和性能,有需要的企业可以根据各自的使用工况、真空度要求等方面因素考虑如何选取适合你们的真空泵。
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分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。Agilent分子泵销售维修厂家
光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护保养必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全世界仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。振动频率为60%-工作转速,或者是密封间隙过大,护圈松动,密封磨损处理方法:检查、调整或更换密封。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定极高。(注:皮秒激光=兆分之一秒)Agilent分子泵销售维修厂家
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