氦质谱检漏仪特点
1,气路设计,提高了对氦的抽速,缩短了清氦本底时间,有效防止氦污染。2,检漏口配备:定制精密过滤装置,可有效避免杂物颗粒或铜粉进入仪器内部。3,多模式功能输入、输出,轻松连接各种自动化设备。4,机械与电路有效分开,避免了温度、电磁场等彼此干扰,使检漏仪运行更加稳定、可靠。5,可检漏率低,灵敏度高,检测量程达到11级。
氦质谱检漏
正压氦质谱检漏仪检漏生产厂家
氦质谱检漏仪特点
1,气路设计,提高了对氦的抽速,缩短了清氦本底时间,有效防止氦污染。2,检漏口配备:定制精密过滤装置,可有效避免杂物颗粒或铜粉进入仪器内部。3,多模式功能输入、输出,轻松连接各种自动化设备。4,机械与电路有效分开,避免了温度、电磁场等彼此干扰,使检漏仪运行更加稳定、可靠。5,可检漏率低,灵敏度高,检测量程达到11级。
氦质谱检漏仪简介
专门设计的以氦气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪,运用质谱原理制成的仪器称为质谱计或质谱仪。质谱仪通过其核心部件质谱室,使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后,不同质荷比的离子在场中彼此分开,而相同质荷比的离子在场中汇聚在一起,如果在适当位置安置接收所有这些离子,就会得到按照质荷比大小依次分开排列的质谱图,这就是质谱。用于检漏的质谱仪称为质谱检漏仪。
氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪离子源的作用是使气体分子电离,形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝(阴级)、离化室及离子加速极组成。
灯丝在真空中通电加热后发射电子,在离化室与灯丝之间的电场作用下,电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室,在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量,Z后打到离化室上形成电子流,成为发射电流的一部分。电子在运动的过程中碰撞气体分子而使气体分子电离形成正离子,正离子在离化室与加速极之间的电压U(即离子加速电原)作用下,相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝,由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能,便形成具有一定能量的离子束。
氦质谱检漏仪的电气部分。氦质谱检漏仪除了主机供电部件和主机控制部件外,还有几组主要电路:
1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。
2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。
3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。
4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空,用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。
5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后,立即切断灯丝供电回路,以保护灯丝。
6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同,所以电路也有不少差别,这在各自的说明书中都有说明。
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