沦分子泵是一套超高速、超真空的装置，它的旋转速度高达90000RPM（1500转／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十亿分之二个大气压），并且它设计紧凑，体积小，重量轻。主要有两个系列：STP和EXT，主要区别是EXT系列的回转轴承是陶瓷的，而STP系列的回转轴承是用磁性材料制成的。79dB(A)82dB(A)80dB(A)进气口连接ISO40ISO6
爱德华油式旋片真空泵
沦分子泵是一套超高速、超真空的装置，它的旋转速度高达90000RPM（1500转／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十亿分之二个大气压），并且它设计紧凑，体积小，重量轻。主要有两个系列：STP和EXT，主要区别是EXT系列的回转轴承是陶瓷的，而STP系列的回转轴承是用磁性材料制成的。79dB(A)82dB(A)80dB(A)进气口连接ISO40ISO63ISO100ISO100ISO100出口连接NW40NW40ISO63ISO63ISO63重量145kg230kg750kg820kg950kg变速箱油容量0。
五、罗兹泵
EDWARDS在早推出高抽速的罗茨泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，极限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽气率，常串油式或干式泵使用
六、真空计
爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar，内设的微处理器控制；
半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
所有居于地位的制程工具 OEM，以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。五、罗兹泵EDWARDS在早推出高抽速的罗茨泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，极限真空10-3mbar。Edward可以让您有效应对这两种应用。
EUV 平版印刷泵送解决方案
多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型投资提供 可靠性。在高抽气量模式中，选择器开关会将油流量增加到高真空阶段，从而使泵在高入口压力下持续运行，而不会有任何磨损或润滑减少。
电子束平版印刷解决方案
电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。
我们的产品解决方案
您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。在低真空中有很好的抽气率，常串油式或干式泵使用六、真空计爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar，内设的微处理器控制。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。
爱德华真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
Edward真空泵油概述： 提供一系列新型油：Ultragrade 15、19、20 和 70，均采用制程生产。大多数制造商都采用溶剂精炼制程，而这些油则采用的湿法处理制程生产。通用三相电机还可用于所有机型，对于特殊应用，我们可提供装有ATEX认证防爆电机的泵。这一制程不会产生氮、硫、氧和芳香烃类，因此可得到无任何杂质的清洁基料。
加入添加剂后，Ultragrade 油可改善真空性能、热稳定性和氧化稳定性，不易生锈。油中的氧化剂可让泵承受较高工作温度而不会造成油的退化，从而延长换油时间间隔。通过延长使用寿命、提高正常运行时间、增加产量，使其拥有了可靠的，同时又具有占地面积小，拥有成本低等优点。特性与优势： 加入添加剂后，Ultragrade 油可改善真空性能、热稳定性和氧化稳定性，不易生锈。
油中的氧化剂可让泵承受较高工作温度而不会造成油的退化，从而延长换油时间间隔。
这些油所具备的以上特性使其适用于多种应用。
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