爱德华分子泵厂家规格尺寸,潽拓光电

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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修




爱德华EPX 180真空干泵

Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。








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广州潽拓光电科技有限公司——提供Edwards爱德华ESD/GVSP/XDS/nXDS系列涡旋干泵，XDD/D-LAB系列隔膜泵/GXS系列干式螺杆真空泵，EPX/IPX/GV/GX/iF/iH/iL/iLs/Igx/iXH/iXL/iXS/pXH系列半导体干泵，EH/HV系列罗茨泵，Stokes 6系列机械增压泵，CDX/CXS系列化学干泵，GV系列爪式真空干泵的维修、保养服务。维修流程完善，长期备有原厂维修配件,为客户提供良好的服务！




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Edwards EXT255HI英国爱德华分子泵维修 ，Edwards EXT255HI爱德华涡轮分子泵进气法兰口DN100ISO-K，出气法兰口DN25，抽速可达到220 L/s，转速为60000 rpm，极限压力》5X10-9Pa，爱德华EXT255HI对应的控制器为： Edwards EXC120 ， Edwards EXC80。




涡轮分子泵有真空低能耗，气体输送能力强，循环时间短使用时间长的优点。在电子、半导体工业，包装、印刷、食品工业、塑料及橡胶工业、制药工业、医院及实验室装置、物流技术、环保工程、汽车工程、木工机械等有着广泛的应用。我们承诺对国际品片分子泵及其驱动器维修及销售，各类PLC板，人机界面

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