蒸发真空镀膜机的原理及性能,你了解多少
今天至成镀膜机真空小编要为大家讲的是蒸发真空镀膜机的原理和性能，段时间还有一个新人问我这方面问题，今天我就把我的知道的阐述出来，和大家一起成长和提升。
在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方
纳米镀膜机
蒸发真空镀膜机的原理及性能,你了解多少
今天至成镀膜机真空小编要为大家讲的是蒸发真空镀膜机的原理和性能，段时间还有一个新人问我这方面问题，今天我就把我的知道的阐述出来，和大家一起成长和提升。
在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。这种方法早由M.法拉第于1857年提出，现代已成为常用镀膜技术之一。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比，具有较高的沉积速率，可镀制单质和不易热分解的化合物膜。用作真空蒸发镀的装置称为蒸发镀膜机。
真空镀膜机组成结构,你是否懂
大家都知道真空镀膜机使用很广泛，能够镀出各式各样的靓丽的膜层，那么哪些各式各样膜层机器是在怎么镀出来呢，它的流程是怎样的，包括机器的结构大概是怎么样，这些膜是怎么上去了。我想可能大多数人还是不知道其中的原因。今天至成小编就给大家大概的讲解一下镀膜机的整个结构情况，帮助大家对镀膜机有一个新的认识。
真空主体是真空腔，根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。它的系统是辅助抽气系统，此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。它是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。
真空镀膜机实验设备玻璃制扩散泵真空系统
真空泵按工作条件的不同分为两类：能够在大气压下工作的真空泵称为初级泵（如机械泵），用来产生预备真空，需要在预备条件下才能工作的真空泵称为次级泵（玻璃扩散泵），次级泵用来进一步提高真空度,获得高真空。
扩散泵的液体油有多种,目前广泛使用的是3号扩散泵油（20℃时饱和汽压为1.3×10-6Pa）沸点375℃和275号硅油（20℃时饱和汽压为1.3×10-8Pa）沸点430℃。扩散泵开始工作之前,必须先开动机械泵抽气，达到预备真空时，便可以使用电炉对扩散泵蒸发器中的油进行加热,约25～35min的时间,便可观察到,扩散泵油开始沸腾。当硅油加热至沸腾时430℃,便产生大量油蒸汽,蒸汽经过导管由各级喷嘴高速喷出。
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