目前有两代涡旋泵产品。代产品由于轴承密封隔离不是很好，不能做到完全无油，故不推荐使用。第二代产品是单级涡旋设计。只有一个轴承，轴承与真空腔隔离，完全无油。并且装有控制系统，可变频控制0、50、60、70Hz，故性能较好。产品不需要维修，2～3年更换密封件，维护方便、简单，具有较强的抽水蒸气能力。BOC公司的涡旋泵在我国达100台/年左右。美国Varian公司:美
进口真空泵维修
目前有两代涡旋泵产品。代产品由于轴承密封隔离不是很好，不能做到完全无油，故不推荐使用。第二代产品是单级涡旋设计。只有一个轴承，轴承与真空腔隔离，完全无油。并且装有控制系统，可变频控制0、50、60、70Hz，故性能较好。产品不需要维修，2～3年更换密封件，维护方便、简单，具有较强的抽水蒸气能力。BOC公司的涡旋泵在我国达100台/年左右。美国Varian公司:美国Varian公司1998年开发了涡旋泵，到目前已有三代涡旋泵产品。代产品已基本停产。第二通过技术改进，形成了风格的二级设计:级是三涡旋线同时抽气，可提高抽速，工作在从大气压到5．5×104Pa;第二级是单涡旋线，从5．5×104Pa到极限。一、二级同时工作，是真正的(从压力角度区分的)两级泵。第三代产品是在第二代产品上增加了控制系统。Varian公司的涡旋泵是其干式泵的主打产品，作为分子泵的前级主泵，不需要维修，2～3年更换密封件，维护方便、简单，因此在我国达100台/年以上。
分子真空泵（简称分子泵）是1913年是德国人盖得（W.Gaede）首先发明的。他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。虽然分子泵是一种机械泵,但它已经摆脱了那种靠容积变化来抽气的容积泵原理，而是靠高速运动的刚体表面来携带气体分子实现抽气的一种新型机械真空泵。通常把高速刚体表面携带气体分子按一定方向运动的现象成为分子牵引，或称为气体的外摩擦输运现象。因此，人们把盖得发明的分子泵称为牵引分子泵。这种泵具有启动时间短，抽重气体比抽轻气体快等一系列优点。但由于它的密封间隙小，容易引起机械故障以及加工精度要求高等，除特殊需要外，实际上很少应用，曾有些人做过不少改进，出现过几种不同类型的牵引分子泵，但因为抽速低没有推广应用，曾一度被结构简单的扩散泵所代替。
爱德华真空泵维修之真空泵油的选择，尽量用同一类真空泵油或功能附近、添加剂类型类似的泵油代用。粘度要相当，代用的真空泵油的粘度以不超越原用油粘度±25%为宜。一般状况，应优先思索粘度稍大的泵油中止代用。质量以高代低，即选用质量高一档的真空泵油代用，这样对设备润滑比拟牢靠。同时，还可延伸运用期，经济上也合算。
正确挑选真空泵油，选用代用泵油时还应留心思索设备的环境与运作温度。对运作温度变化大的机械设备，代用油的粘温性要好一些；关于低温运作的机械，挑选代用油的凝点要运作温度 10 ℃以下，而关于高温运作的机械，则要思索代用油的闪点要高一些，氧化安定性也要满意运用。
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