洁净室的风量及检测项目
洁净室的送风量应取下列三项中的值：
1 满足空气洁净度等级要求的送风量。
2 根据热、湿负荷计算确定的送风量。
3 按上面规范6.1.5 的要求向洁净室给的新鲜空气量。
洁净室的检测项目
空气洁净度等级测试、风速和风量测试、静压差的测试、空气过滤器安装后的检漏、气流流型的检测、温度的检测、密闭性测试、相对湿度的检测、
10万级洁净室
洁净室的风量及检测项目
洁净室的送风量应取下列三项中的值：
1 满足空气洁净度等级要求的送风量。
2 根据热、湿负荷计算确定的送风量。
3 按上面规范6.1.5 的要求向洁净室给的新鲜空气量。
洁净室的检测项目
空气洁净度等级测试、风速和风量测试、静压差的测试、空气过滤器安装后的检漏、气流流型的检测、温度的检测、密闭性测试、相对湿度的检测、噪声测试、照度测试、超微粒子的测试、宏粒子的测试、微振测试、静电测试、自净时间。
洁净室风速和风量测试
风速测试仪器可使用热球式风速计、超声风速计、叶片式风速计等；风量测试可使用带流量计的风罩、文丘里流量计、孔板流量计等。
仪器：热球风速仪，精度0.01m/s±3%,量程0~30m/s，集风罩。
方法：用集风罩住送风口，测出风口平均风速 。
单向流设施的截面风速、面风速和风量测试。
若在空气过滤器或散流器风口的上风侧已安装有文丘里或孔板流量装置时，可利用该流量计直接测量风量。
洁净室是指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%，64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。洁净室检测中基本的指标是悬浮粒子，洁净室空气是否有污染及空气的状况是通过检测空气中的0。
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