洁净室检测之静电检测与验收
测试目的
静电问题不是只有半导体业才有,其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电,就会变成非常难处理的问题,因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面,若是物体表面带有静电,就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量,依此数据可仿1真物体在该气流场中之残余表面电压。
空气
洁净室净化工程
洁净室检测之静电检测与验收
测试目的
静电问题不是只有半导体业才有,其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电,就会变成非常难处理的问题,因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面,若是物体表面带有静电,就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量,依此数据可仿1真物体在该气流场中之残余表面电压。

空气洁净技术(又称洁净技术或洁净室技术)
是指以控制室内空气中悬浮颗粒物浓度为目标的相关技术,悬浮颗粒物的浓度用单位体积空气中大于等于某一粒径颗粒物的允许数量来表示,通常也称为空气的洁净度,并以此来划分洁净度等级或级别。洁净室的分类按洁净室主要控制对象划分洁净室又可划分为:工业洁净室、生物洁净室。工业洁净室主要的控制对象是灰尘粒子(不分有生命的、无生命的),某些工艺过程还要求控制分子态污染物AMC。

洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间,
其建造和使用方式可减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控(ISO14644-6)。洁净室的四大技术要素:送风至少经过三级过滤(粗效、中效和),并且过滤器应设置在系统的末端。洁净室应有足够的净化和空调的送风量。洁净室应维持必要的压力梯度(正压梯度或负压梯度)。洁净室应有合理的气流组织。

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