拆卸泵体后，发现一级和二级叶轮的轴向和圆周方向无磨损；相应的泵体端盖和泵隔膜没有磨损。经过检查后，两级叶轮之间的固定距离套筒的尺寸与图纸没有出现较大的偏差。因此，将转子送到制造商处进行动平衡检查和转子跳动检查。泵轴弯曲变形，机械密封处的径向跳动为0.15mm，超过了机械密封的允许值减少0.05mm（见图8），使机械密封小幅度地机械拍打，并形成周期性的轴向冲击载荷，在更
莱宝真空泵维修包
拆卸泵体后，发现一级和二级叶轮的轴向和圆周方向无磨损；相应的泵体端盖和泵隔膜没有磨损。经过检查后，两级叶轮之间的固定距离套筒的尺寸与图纸没有出现较大的偏差。因此，将转子送到制造商处进行动平衡检查和转子跳动检查。泵轴弯曲变形，机械密封处的径向跳动为0.15mm，超过了机械密封的允许值减少0.05mm（见图8），使机械密封小幅度地机械拍打，并形成周期性的轴向冲击载荷，在更换新的机械密封一周后，石墨移动环逐渐磨损。
目前有两代涡旋泵产品。代产品由于轴承密封隔离不是很好，不能做到完全无油，故不推荐使用。第二代产品是单级涡旋设计。只有一个轴承，轴承与真空腔隔离，完全无油。并且装有控制系统，可变频控制0、50、60、70Hz，故性能较好。产品不需要维修，2～3年更换密封件，维护方便、简单，具有较强的抽水蒸气能力。BOC公司的涡旋泵在我国达100台/年左右。美国Varian公司:美国Varian公司1998年开发了涡旋泵，到目前已有三代涡旋泵产品。代产品已基本停产。第二通过技术改进，形成了风格的二级设计:级是三涡旋线同时抽气，可提高抽速，工作在从大气压到5．5×104Pa;第二级是单涡旋线，从5．5×104Pa到极限。一、二级同时工作，是真正的(从压力角度区分的)两级泵。第三代产品是在第二代产品上增加了控制系统。Varian公司的涡旋泵是其干式泵的主打产品，作为分子泵的前级主泵，不需要维修，2～3年更换密封件，维护方便、简单，因此在我国达100台/年以上。
爱发科真空泵维修故障原因及其消除方法故障原因，消除方法极限压力达不到，管道、系统漏气，泵部分漏气，前级泵极限压力下降，润滑油太脏或牌号不对，油封磨损，系统检漏，对泵检漏，修理或更换前级泵，调换润滑油，调换油封抽速不足，管道通道能力不够，前级泵抽速下降，增大管道通道能力，修理或更换前级泵电动机过载，入口压力过高，转子端面与端盖单面接触，前级泵返油进罗茨真空泵泵腔，调整、控制入口压力，调整转子端面间隙，装置防返油设备。
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空。有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
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