洁净室的控制养护
严格控制洁净室与相邻房间之间的压差同样是保证生产房间空气洁净度的重要环节。不同洁净级别的洁净室及洁净区与非洁净区之间的压差应大于5帕斯卡，洁净区与室外压差应大于10帕斯卡，且送风、回风和排风系流的启闭应联锁并按顺序操作,这样可以避免空气倒流，减少低级别尘埃对洁净室环境的污染。每次生产前及一定的生产周期后须对清洁后的洁净室在静态条件下进行尘埃粒子数
洁净室
洁净室的控制养护
严格控制洁净室与相邻房间之间的压差同样是保证生产房间空气洁净度的重要环节。不同洁净级别的洁净室及洁净区与非洁净区之间的压差应大于5帕斯卡，洁净区与室外压差应大于10帕斯卡，且送风、回风和排风系流的启闭应联锁并按顺序操作,这样可以避免空气倒流，减少低级别尘埃对洁净室环境的污染。每次生产前及一定的生产周期后须对清洁后的洁净室在静态条件下进行尘埃粒子数的检测，以评价和掌握洁净室尘埃粒子的含量。
洁净室施工的材料要求
1、用于洁净室嵌缝的弹性密封材料及防尘涂料必须有注明成分、品种、出厂日期、贮存有效期和施工方法的说明书以及产品合格证书，不得使用过期产品和未经鉴定的产品。
2、洁净室涂料地面水泥沙浆基地的水泥标号不得425号，水磨石地面应现浇，所用小石子直径为6~15H.水磨石细磨后，宜用不挥发的护面材料打涂。
3、洁净室墙面和吊顶的抹灰，应为高的级别抹灰，养护时间应充分。不得采用受热湿影响产生变形、霉变、纷华的材料。
4、洁净室使用的木材的含水率不应大于16%，并且不得外露使用:石言板、胶合板和木龙骨应做防潮处理;或采用防水石言板。生物洁净室不应使用木材和石容板作表面装饰材料。
电子洁净室污染因素：
一、电磁噪声
通过大电流的氧化炉等设备的电缆和反复控制通断的电磁开关，高频振荡等产生的电磁噪声，影响电子束扫描设备的扫描精度。其影响程度与发生源的距离成反比。
二、振动
设备内的真空泵电机工作时会把振动经地板传递到微细加工设备和显微镜等精密设备仪器上，影响它们的工作精度。
应在振源和怕受振动的设备下安装空气的弹簧减震器，以达到衰减振动的目的。
三、生锈
酸用通风罩局部排风量不足时，酸雾气扩散于室内，腐蚀室内设备的金属部分，就是不锈钢露在含CI气的空气中，也会受腐蚀生锈。
处理酸的有效的方法是采用密闭通风罩，保证足够的局部排风量。
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