浙江美兆-净化车间——宁波无尘车间净化改造
隔间
净化车间隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),净化车间与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入净化车间时,首先要经过风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,减少人员带入净化车间的灰尘.传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘
宁波无尘车间净化改造
浙江美兆-净化车间——宁波无尘车间净化改造
隔间
净化车间隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),净化车间与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入净化车间时,首先要经过风淋室,对人体所带的灰尘吹淋,减少人员带入净化车间的灰尘.传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果。宁波无尘车间净化改造
因此在净化车间中用防尘材料及产品都显得非常重要。净化车间属于人造的环境,里面含有的粒子远一般的环境,随着集成电路的级数的成长,也增加了对制造环境(净化车间)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。所以净化车间为集成电路制造必不能少的因素。 宁波无尘车间净化改造
千级、百级、千级无尘车间中间的差别在哪儿呢主要是取决于空气中各粒度档较大 允许粒子浓度值不一样。1、千级无尘车间0.5微米的较大 允许粒子浓度值3520(pc/m3),5微米的较大 允许粒子浓度值293(pc/m3)。2、百级无尘车间0.5微米的较大 允许粒子浓度值35200(pc/m3),5微米的较大 允许粒子浓度值2930(pc/m3)。3、千级无尘车间0.5微米的较大 允许粒子浓度值352000(pc/m3),5微米的较大 允许粒子浓度值29300(pc/m3)。 宁波无尘车间净化改造
运用FFU处理净化处理工程存在的不足
(1)运用FFU能够 节约室内空间,处理净化车间装修吊顶顶部检修室内空间窄小的难题。
因为高級其他净化车间(如千级间)必须千级乃至十级层流罩用于处理加工工艺要求,净化室装修吊顶上部下开设一个个极大的送风静压箱,静压箱内开设通风机,这种静压箱连着送风管、回通风风管占有了非常大的室内空间,促使检修室内空间变的窄小,有时候乃至危害消防通道门的应用。宁波无尘车间净化改造
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