氦质谱检漏仪的应用
（1）电子行业，微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。
（2）真空行业，仪器、仪表行业，管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、镀膜机、薄膜真空计。
（3）核工业，铀分离装置、存储装置、核发电装置。
（4）制冷行业，冰箱、空调、汽车用空调、
正压质谱检漏真空系统
氦质谱检漏仪的应用
（1）电子行业，微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。
（2）真空行业，仪器、仪表行业，管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、镀膜机、薄膜真空计。
（3）核工业，铀分离装置、存储装置、核发电装置。
（4）制冷行业，冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、压缩机、低温储槽。
（5）不锈钢保温器皿，真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
（6）核工业、航空工业、航天工业、船舶工业、军事电子六大类。
氦质谱检漏仪的特点
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。氦质谱检漏仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在10-3mbar以下，空气的流动才体现为分子流，氦质谱检漏仪才能稳定正常工作。
氦质谱检漏仪的真空系统
氦质谱检漏仪的真空系统提供质谱室正常工作所需要的真空条件，不同型号的氦质谱检漏仪其真空系统有较大的差别。
1、检漏阀：接在质谱室和被检件之间的管道上。有些氦质谱检漏仪采用节流阀，控制流入质谱室的气体流量。
2、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。
3、标准漏孔：一般氦质谱检漏仪内都附有标准漏孔(大多为薄膜渗氦型)，用它来校准氦质谱检漏仪的Z小可检漏率和对氦质谱检漏仪输出指示进行定标。
氦质谱检漏仪的测量数据处理介绍
漏率的温度修正
标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ，所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致，需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下:
方法一: 将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；
方法二: 将标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下，用标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。
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