在粉尘较多的真空工艺如何选择真空泵，才能让真空泵既能够满足工艺要求，同时又能够长期稳定的运行，延长真空泵维修维保时间，节约运行成本，保证生产设备的生产效率，保证设备产能。
在CVD、PECVD、ALD等工艺中，真空腔体会通入各种各样的工艺气体来完成产品表面薄膜工艺，这些工艺气体在反应过程中有时会大量粉尘或容易结晶，如果粉尘和结晶物不能及时排除真空泵外，就容
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在粉尘较多的真空工艺如何选择真空泵，才能让真空泵既能够满足工艺要求，同时又能够长期稳定的运行，延长真空泵维修维保时间，节约运行成本，保证生产设备的生产效率，保证设备产能。
在CVD、PECVD、ALD等工艺中，真空腔体会通入各种各样的工艺气体来完成产品表面薄膜工艺，这些工艺气体在反应过程中有时会大量粉尘或容易结晶，如果粉尘和结晶物不能及时排除真空泵外，就容易在真空泵内沉积，堆积到一定量时就会造成真空泵叶轮、转子等卡滞，需要及时下机保养和维护，否则的话就会造成真空泵的更大的损坏，但是干式泵的维护成本又比较昂贵，选择一台耐粉尘，维保周期长的真空泵是非常重要的。
真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。
真空泵的噪音来源：真空泵的噪音主要为运行时带来的机械噪音，真空泵排气是带来的空气性噪音，以及真空泵引起的管道振动
解决方案：
隔音罩；对真空泵带来的噪音主要还是以隔音防振为主。对真空泵机组安装隔声罩，隔声罩大小是根据真空泵的尺寸大小设计，并且在真空泵隔声罩上安装消声器。真空系统供应商
减振器；针对真空泵噪声结合现场实际情况，如果真空泵存在机房就应该对机房进行隔音处理，安装隔音材料，在地面使用减震垫，在真空泵下安装减震器。对真空泵和管道连接可以使用弹性支撑架，并且使用减振材料包扎整个管道用于降低整个设备带来的振动影响。真空系统供应商
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中的主力泵种。真空系统供应商
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