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层流式此种方式是根据空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净车间等级需定较高的环境使用，一般其洁净车间等级为Class1~100。其型式可分为二种：1．垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。2．水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

乱流式此种方式是让空气通过空调箱经风管与洁净车间内之空气过滤

乱流式

此种方式是让空气通过空调箱经风管与洁净车间内之空气过滤器(HEPA)进入洁净车间，并由洁净车间两侧隔间墙板或高架地板回风。此型式适用于洁净车间等级1,000-100,000级。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。

优点：构造简单、系统建造成本低，洁净车间的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净车间等级。

缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

复合式ULSI制程大都采用此种型式

复合式

此种方式是为了将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

1．装局部洁净车间：将洁净车间等级10,000~100,000之乱流洁净车间内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

2．净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

3．净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：①弹性扩充容易;②维修设备时可在维修区轻易执行。

净化车间排风系统是生产线中一个十分关键的系统

净化车间排风系统是生产线中一个十分关键的系统。净化车间方案设计中的排气管系统有益于净化车间的清洁液和工业废气的排出。它能够迅速地将实验站地挪走，确保净化车间自始至终保持干净。排汽管的生产制造应合乎以下规定：通风管道的性危害密封垫片原材料和固定不动原料应阻燃性。通风风管常用的地脚螺丝、螺帽、密封环和地脚螺栓应选用合乎管材特点、不容易造成电化学腐蚀的原料，或选用热镀锌等防腐蚀对策；3镀锌钢板不可因热镀锌而比较严重毁坏镀层，如表层有很多废弃物，镀层层次等。地脚螺丝与风管法兰地脚螺栓孔的间隔不可超出100毫米；矩形框架构风管法兰的四角应设定螺孔。

1、净化车间的一般排风系统：生产制造輔助专室、日常生活用的室等排出来的一般有机废气，一般不用解决立即就排进了空气。

2、有机化学的汽体排风系统：在生产过程中应用各种有机化学化学物质做为原料采购时，可能在有关的场地或机器设备处释放有机化学化学物质的汽体，针对这种的场地或机器设备均应设定排风设备。净化车间排风系统当中的有机废气要开展相对的解决，再排进空气。

3、净化车间总排风系统：生产加工輔助用地和日常日常生活用地排出的一般工业废气，一般在未解决困难的状况下马上排进空气。分析化学品排汽系统：在生产过程中，当以各种各样分析化学化学物质为原材料时，分析化学化学物质的蒸气很有可能会在有关场地或工业设备上释放出。该类场地或工业设备应设定排气管机器设备。净化车间排风系统中的工业废气在排进空气前要开展相对的解决。

4、汽体排气管系统：针对造成汽体（归属于物品或有害乃至有毒或有腐蚀的汽体）要避免 排气管系统中造成化学变化，要区划排气管系统，净化车间采用型的有机废气处理设备，做到环保标准后排进空气。

5、碱性气体排风系统：在商品生产制造里时有酸性气体排出来，在净化车间排风系统一般 设定湿试洗气脱硫塔，解决后排进空气。

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