针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内，再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再进程入制机台的使用点(POU, Point of Use)，更多气体知识请关注气体圈子微信：gasgroup于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机，以质流控制
混合气体
针对腐蚀性、毒性、燃烧性的
气体，通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内，再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再进程入制机台的使用点(POU, Point of Use)，更多气体知识请关注气体圈子微信：gasgroup于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机，以质流控制器进行流量之控制与进气的混合比例控制，通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴，而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。为了解决标准气体的均匀性问题，在配制时厅以采取如下措施，促进标准气体混合均匀。
液化气体的特点
液化气体( Liquefied Gases )：在2111 ℃和罐装压力下部分液化的气体。或定义为在正常温度和172142～17237kPa 压力下在气瓶中液化的气体。压缩气体(Compressed Gases) 压缩气体是指在2111 ℃下, 在气瓶中压力超过27518kPa 的任何气体或混合物; 或与2111 ℃下的压力无关, 于5414 ℃下压力超过717kPa 的任何气体或混合物; 或于3718 ℃下气体压力超27518kPa 的任何液体。卡塔尔断交事件的后续处理及中美贸易战等因素亦将很大程度上左右稀有气体市场。
气的特点
常用的惰性气体是
气。它是一种五色无味的气体，在空气的含量为0．935％(按体积计算)，的沸点为－186℃，介于氧和氦的沸点之间。是氧气厂分馏液态空气制取氧气时的副产品。 我国均采用瓶装气用于焊接，在室温时，其充装压力为15MPa。钢瓶涂灰色漆，并标有“气”字样。纯的化学成分要求为：Ar≥99．99％；He≤0．01％；O2≤0．0015％；H2≤0．0005％；总碳量≤0．001％；气体分离通常使用由聚合物（例如纤维素）或其他材料制成的合成膜进行。水分≤30mg／m3。
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