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莱宝分子泵维修地址


广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术实力雄厚，充满活力的高素质团队。



广州潽拓光电——磁悬浮分子泵的振动抑制

2000 L 磁悬浮分子泵研制中，遇到复杂振动问题：转子弯曲模态共振; 陀螺效应造成动力学失稳; 叶轮叶片导致转子颤振; 成因复杂的机电耦合模态振动。泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器。它们同时出现，严重影响转子稳定性，给振动抑制带来困难，需进行精细的控制器设计。控制器中，对不同振动采用不同方法抑制：陀螺效应依靠交叉反馈控制; 弯曲共振、分子泵叶轮叶片颤振及机电耦合模态振动，依靠各种不同的控制器传递函数相位方法。试验验证了方法的有效性，分子泵平稳升速到24000 r/ min，样机达到了设计真空性能指标。



在分子泵转子设计中，转子一阶弯曲模态频率已经尽量保持远离转子da工作转动频率即400 Hz,但其对转子振动的影响依然不能忽略，尤其在高速运行时，陀螺效应造成一阶弯曲振动反向涡动模态频率下降明显。转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。通常认为传统轴承支承的转子，反向涡动很难被激发，但对电磁轴承转子系统，经常可观察到反向涡动被激发出来。因此，在转子工作于整个转速范围内时，均应为弯曲模态振动提供足够阻尼，避免一阶弯曲正向或反向涡动被激发。事实上，如果电磁轴承振动控制不考虑弯曲模态的阻尼,转子静态悬浮时就会把转子弯曲振动激发出来。




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