真空镀膜设备,主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。
真空镀膜技术及设备拥有十分广阔的应用领域和发展前景。未来真空镀膜设备行业等制造业将以信息化融合为,依靠技术
环保真空镀膜设备
真空镀膜设备,主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。
真空镀膜技术及设备拥有十分广阔的应用领域和发展前景。未来真空镀膜设备行业等制造业将以信息化融合为,依靠技术进步,更加注重技术能力积累。环保真空镀膜设备

真空镀膜设备如何操作?
真空镀膜设备操作程序具体操作时请参照该设备说明书和真空镀膜机上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。
检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在'关'位置。打开总电源开关,真空镀膜设备送电。
低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。
把薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。
启动真空镀膜设备抽真空机械泵。
在选择真空镀膜设备时会考虑设备的各种性能特点,结合自身所镀产品的需要综合考核
根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。
真空镀膜设备充气方式的选择。
根据工艺要求选择镀制方式及形式。
夹具运转形式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。
根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
真空镀膜设备膜层灰暗及发黑:(1)真空度0.67Pa。应将真空度提高到0.13-0.4Pa。(2)气的纯度99.9%。应换用纯度为99.99%的气。(3)充气系统漏气。同时由于PVD是一种干法镀技术,可以避免湿法镀时酸性或碱性电解质溶液残留在磁体孔隙内和电镀过程中磁体吸氢而导致镀层脆裂的缺点。应检查充气系统,排除漏气现象。(4)底漆未充分固化。应适当延长底漆的固化时间。(5)镀件放气量太大。应进行干燥和封孔处理。真空镀膜设备膜层表面光泽暗淡:(1)底漆固化不良或变质。应适当延长底漆的固化时间或更换底漆。(2)溅射时间太长。应适当缩短。(3)溅射成膜速度太快。应适当降低溅射电流或电压。

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