扫描电镜成功进入制造领域首先,电镜的分辨率是一项重要的参数, 台式扫描电镜大样品室版Phenom XL系列具有14nm的分辨率,能够为客户提供高质量的电子图像; 其次,电镜配置有双探头,能够呈现背散射图像和二次电子图像,为客户提供原子序数衬度图像和形貌衬度图像,满足不同的成像需求; 其三, 电镜对样品的导电性要求非常宽松,即使是不导电的样品,也可直接进行观察而不需喷金,
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扫描电镜成功进入制造领域
首先,电镜的分辨率是一项重要的参数, 台式扫描电镜大样品室版Phenom XL系列具有14nm的分辨率,能够为客户提供高质量的电子图像;
其次,电镜配置有双探头,能够呈现背散射图像和二次电子图像,为客户提供原子序数衬度图像和形貌衬度图像,满足不同的成像需求;
其三, 电镜对样品的导电性要求非常宽松,即使是不导电的样品,也可直接进行观察而不需喷金,这就大大扩宽了电镜的测试能力,为上述多类生物样品的观察创造了机会 ;
其四,台式扫描电镜大样品室版Phenom XL具有100mm*100mm*40mm的样品空间,可一次放置36个直径为半英寸的样品台,大幅提升测试效率。

台式扫描电镜符合工艺要求
台式扫描电镜基于新一代高亮度灯丝和全新的聚焦系统,分辨率轻松达到10 nm,同时具有全自动操作、15秒抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点。传统电镜往往通过提高加速电压来产生更高的信号,同时由于穿透深度较深,导致表面细节缺失。低加速电压电子穿透深度浅,避免样品被破坏,展现更多表面细节;探测背散射电子,展现清晰形貌结构的同时,提供丰富的成份信息。
台式扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑,亮度10倍于钨灯丝的灯丝,不仅成为*分辨率的台式扫描电镜,同时也使X射线能谱仪提供更加准确、的元素分析。台式扫描电镜的背散射图像,首先从视觉上用不同的灰度呈现不同的元素,进一步利用SDDX射线探测器,就能轻松确认不同灰度区域元素的名称和含量,提供5-95号元素的点扫描,线扫描和面扫描三种分析模式。
扫描电镜对样品的要求
样品制备方法
1、块样
对于金属、岩矿或无机物,切割成要求的尺寸,粘在样品台上。如果样品数量多,注意样品尺寸一致。
微区成份分析样品表面应该平台或经研磨抛光,可以保证检测时几何条件不变。对于样品的断口面,要选择起伏不大的部位,是分析点附近有小的平坦区。样品表面和底面应该平行。
非导电或导电性较差的材料,要行镀膜处理,在材料表面形成一层导电膜。以避免电荷积累,影响图像质量,并可防止试样的热损伤。
2、粉样
(1)微米级粉料:将粉样撒在样品台的双面胶上,用手指轻弹样品台四周,粉料会均匀地向四周移动,铺平一层,侧置样品台,把多余粉料抖掉;用纸边轻刮、轻压粉料面,使粉料与胶面贴实;用耳球从不同方向吹拂粉料。经此过程,粉料已牢固、均匀地粘在双面胶上。
(2)对于亚微米级或纳米粉料进行成分分析:利用压片机压成结实的薄片。把薄片用双面胶粘在样品台上 。

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