1945年以来，氦质谱检漏仪的制造工艺已经有了很大的改进。1947年，检漏仪的灵敏度均为10-4Pa.L/S；到1970年, 提高到可检测10-7Pa.L/S的漏率；而今天已能能够检测到10-9Pa.L/s的漏率。与此同时, 检漏仪的体积和质量也大大降低。90年代初，小的氦质谱检漏仪的体积只有0.05m3重约38.5Kg。新型的氦质谱检漏仪中已经没有手动阀。现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时
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1945年以来，氦质谱检漏仪的制造工艺已经有了很大的改进。1947年，检漏仪的灵敏度均为10-4Pa.L/S；到1970年, 提高到可检测10-7Pa.L/S的漏率；而今天已能能够检测到10-9Pa.L/s的漏率。与此同时, 检漏仪的体积和质量也大大降低。90年代初，小的氦质谱检漏仪的体积只有0.05m3重约38.5Kg。新型的氦质谱检漏仪中已经没有手动阀。现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵, 以消除可能造成的油返流。计算机技术也在氦质谱检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴极射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。博为研发生产的新型检漏仪现在已经渗透到航空航天、新能源、电子器件、阀门、电力、制冷、家电等行业。氦质谱检漏仪在未来的岁月中还将在许多的工业领域中得到新的应用
氦质谱检漏仪电力行业体现在如下几个方面：
SF6高压开关和氧化锌避雷器是发电厂及野外输变电的重要组成部分，往往因泄漏造成或局部停电，影响工业生产，又妨碍人们的正常生活。因此带来的经济损失有时是难以估量的。
（1）高压开关在连箱是铝铸件，往往容易有砂眼，且漏孔结构复杂，不易清洗。一般采用检漏盒或氦罩法，即把被检件抽真空，然后向罩内充入氦气，等待一定时间，确定总漏率的大小。因氦气的用量小，检测灵敏度就高。
（2）氧化锌避雷器，是根据电压高低要求，采用不同截面积、不同厚度和不同数量的氧化锌片，装在瓷套中，充入氮气后密封。其工作原理是在高压输出中如遇雷击，氧化锌片电阻变小，大电流对地短路，输电线路被保护。如果泄漏造成内外没有压差，外部潮湿气体有可能进入，而破坏氧化锌片特性，造成破坏
（3）电力行业中，电厂的检漏、高压变压器、高压电容器、高压开关管及其它元器件也都相应的采用氦质谱检谱检漏仪，用不同方法进行检漏。
质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：
（1）氦在空气中及真空系统残余气体中的含量少（在空气中约含5×10-6），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。
（2）氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。
（3）氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。
（4）在氦两侧的离子是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，调氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。
（5）氦在被检件及真空系统中不易被吸附，容易被抽走。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。
氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。
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