真空镀膜设备真空泵的选择
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对Ar有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真
真空磁控溅射镀膜机厂家
真空镀膜设备真空泵的选择
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对Ar有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压)，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线)，其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，能达到1mmHg较好。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
什么是真空镀膜设备的虚漏及漏孔？
一、虚漏：
虚漏是由于设计或制造加工工艺不当，在真空镀膜设备内形成贮存气源的洞穴，这些气体在真空环境下慢慢释放出来，形同漏气，简称虚漏。
例如，真空镀膜设备内的紧固螺钉没有出气孔，焊缝交叉设计，焊接不完善留有孔穴等都会造成虚漏现象。
二、漏孔：
漏孔是真空镀膜设备内的电真空器件中直径微米数量级的小漏孔，空气中的尘埃或液体都很容易造成漏孔的堵塞，这些就算你当时修理好了也是暂时性的，检漏时好像不漏，但经过抽气之后，又会出现漏气。
所以为了检查，一定要仔细处理好检漏部位，尽量不用手去摸被检测区域，避免尘埃或油脂堵塞漏孔。
真空镀膜机对环境的要求
真空镀膜机在使用的时候，难免会因为使用的问题使得真空镀膜机沾上其他污染物，所以经常清洗真空镀膜机也成为保养机器的一个重要部分，在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜之前，对镀膜材料做简单的表面清洁能延长镀膜机使用寿命，因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。
一般在使用中，真空镀膜机常见的污染物有：
1、油脂包括加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等；
2、操作时候的手汗，吹气的时候的水汽和唾液等等；酸、碱、盐类物质清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等；还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。
清洁这些污染物可以改进真空镀膜机工作稳定性，使工作可以更顺利的进行。
（作者： 来源：）
